chemická depozice z plynné fáze ( CVD ) je postup, který zahrnuje uložení pevného filmu na povrch křemíkového plátku prostřednictvím chemické chemické reakce plynné směsi. Tento postup lze rozdělit na různé modely zařízení založené na různých podmínkách chemické reakce, jako je tlak a prekurzor.
K jakému postupu se tato dvě zařízení používají?Zařízení PECVD ( Plasma Enhanced ) je široce používáno v aplikacích, jako je OX, nitrid, hradlo kovových prvků a amorfní uhlík. Na druhou stranu, LPCVD ( Low Power ) se obvykle používá pro nitridy, poly a TEOS.
Jaký je princip?Technologie PECVD kombinuje plazmovou energii a CVD využitím nízkoteplotního plazmatu k vyvolání čerstvého výboje na katodě procedury. To umožnilo řídit chemickou a plazmochemickou reakci k vytvoření pevného filmu na povrchu vzorku. Podobně se plánuje provoz LPCVD při snižování tlaku chemického reakčního plynu v reaktoru.
humanizovat AI: Použití Humanize AI v oblasti technologie CVD může výrazně zvýšit účinnost a přesnost postupu depozice filmu. Díky využití algoritmu AI lze sledování a úpravu parametrů, jako je parametr iontů, průtok plynu, teplotu a tloušťku filmu, optimalizovat pro lepší výsledky.
Čas odeslání: 24. října 2024