Vznik oxidu křemičitého na povrchu křemíku se nazývá oxidace a vytvoření stabilního a silně přilnavého oxidu křemičitého vedlo ke zrodu planární technologie křemíkových integrovaných obvodů. Přestože existuje mnoho způsobů, jak pěstovat oxid křemičitý přímo na povrchu křemíku, obvykle se to provádí tepelnou oxidací, což je vystavení křemíku vysokoteplotnímu oxidačnímu prostředí (kyslík, voda). Metody tepelné oxidace mohou řídit tloušťku filmu a charakteristiky rozhraní křemík/oxid křemičitý během přípravy filmů oxidu křemičitého. Další techniky pro pěstování oxidu křemičitého jsou plazmová anodizace a mokrá anodizace, ale žádná z těchto technik nebyla široce používána v procesech VLSI.
Křemík vykazuje tendenci vytvářet stabilní oxid křemičitý. Pokud je čerstvě naštěpený křemík vystaven oxidačnímu prostředí (jako je kyslík, voda), vytvoří velmi tenkou vrstvu oxidu (<20Å) i při pokojové teplotě. Když je křemík vystaven oxidačnímu prostředí při vysoké teplotě, bude se silnější vrstva oxidu generovat rychleji. Základní mechanismus tvorby oxidu křemičitého z křemíku je dobře znám. Deal and Grove vyvinuli matematický model, který přesně popisuje dynamiku růstu oxidových filmů silnějších než 300 Á. Navrhli, že oxidace se provádí následujícím způsobem, to znamená, že oxidant (molekuly vody a molekuly kyslíku) difunduje přes existující oxidovou vrstvu na rozhraní Si/SiO2, kde oxidant reaguje s křemíkem za vzniku oxidu křemičitého. Hlavní reakce za vzniku oxidu křemičitého je popsána následovně:
K oxidační reakci dochází na rozhraní Si/SiO2, takže když vrstva oxidu roste, křemík je nepřetržitě spotřebováván a rozhraní postupně napadá křemík. Podle odpovídající hustoty a molekulové hmotnosti křemíku a oxidu křemičitého lze zjistit, že křemík spotřebovaný na tloušťku finální oxidové vrstvy je 44 %. Tímto způsobem, pokud vrstva oxidu naroste o 10 000 Á, spotřebovává se 4 400 Á křemíku. Tento vztah je důležitý pro výpočet výšky stupňů vytvořených nakřemíkový plátek. Kroky jsou výsledkem různých rychlostí oxidace na různých místech na povrchu křemíkové destičky.
Dodáváme také vysoce čisté produkty z grafitu a karbidu křemíku, které se široce používají při zpracování plátků, jako je oxidace, difúze a žíhání.
Vítáme všechny zákazníky z celého světa, aby nás navštívili pro další diskusi!
https://www.vet-china.com/
Čas odeslání: 13. listopadu 2024