Vysoce čisté grafitové komponenty jsou klíčové proprocesy v polovodičovém, LED a solárním průmyslu. Naše nabídka sahá od grafitových spotřebních materiálů pro horké zóny pro pěstování krystalů (ohřívače, susceptory kelímků, izolace) až po vysoce přesné grafitové komponenty pro zařízení na zpracování plátků, jako jsou grafitové susceptory potažené karbidem křemíku pro epitaxi nebo MOCVD. Zde vstupuje do hry náš speciální grafit: izostatický grafit je základem pro výrobu složených polovodičových vrstev. Ty vznikají v „horké zóně“ za extrémních teplot během takzvané epitaxe neboli MOCVD procesu. Rotující nosič, na kterém jsou plátky v reaktoru potaženy, sestává z izostatického grafitu potaženého karbidem křemíku. Pouze tento velmi čistý, homogenní grafit splňuje vysoké požadavky v procesu povlékání.
TZákladním principem růstu epitaxních plátků LED je: na substrátu (hlavně safír, SiC a Si) zahřátém na vhodnou teplotu je plynný materiál InGaAlP řízeným způsobem transportován na povrch substrátu, aby narostl specifický monokrystalický film. V současné době technologie růstu LED epitaxních plátků využívá hlavně organické kovové chemické nanášení par.
LED epitaxní substrátový materiálje základním kamenem technologického rozvoje průmyslu polovodičového osvětlení. Různé materiály substrátu potřebují různé technologie růstu epitaxních plátků LED, technologii zpracování čipů a technologii balení zařízení. Podkladové materiály určují směr vývoje polovodičové osvětlovací techniky.
Charakteristiky výběru materiálu substrátu pro epitaxní destičky LED:
1. Epitaxní materiál má stejnou nebo podobnou krystalovou strukturu se substrátem, malou mřížkovou konstantní nesoulad, dobrou krystalinitu a nízkou hustotu defektů
2. Dobré vlastnosti rozhraní, napomáhající nukleaci epitaxních materiálů a silnou adhezi
3. Má dobrou chemickou stabilitu a není snadné jej rozložit a korodovat v teplotě a atmosféře epitaxního růstu
4. Dobrý tepelný výkon, včetně dobré tepelné vodivosti a nízkého tepelného nesouladu
5. Dobrá vodivost, lze vyrobit horní a spodní strukturu 6, dobrý optický výkon a světlo vyzařované vyrobeným zařízením je méně absorbováno substrátem
7. Dobré mechanické vlastnosti a snadné zpracování zařízení včetně ředění, leštění a řezání
8. Nízká cena.
9. Velká velikost. Obecně by průměr neměl být menší než 2 palce.
10. Je snadné získat substrát pravidelného tvaru (pokud neexistují jiné speciální požadavky) a tvar substrátu podobný otvoru podnosu epitaxního zařízení není snadné vytvořit nepravidelný vířivý proud, aby se ovlivnila kvalita epitaxe.
11. Za předpokladu, že nebude ovlivněna epitaxní kvalita, musí obrobitelnost substrátu co nejvíce splňovat požadavky na následné zpracování třísek a obalů.
Pro výběr substrátu je velmi obtížné splnit současně výše uvedených jedenáct aspektů. Proto se v současné době můžeme přizpůsobit výzkumu a vývoji a výrobě polovodičových zařízení vyzařujících světlo na různých substrátech pouze změnou technologie epitaxního růstu a úpravou technologie zpracování zařízení. Existuje mnoho substrátových materiálů pro výzkum nitridu galia, ale pro výrobu lze použít pouze dva substráty, a to safír Al2O3 a karbid křemíkuSiC substráty.
Čas odeslání: 28. února 2022