Rozprašovací terčese používají především v elektronickém a informačním průmyslu, jako jsou integrované obvody, úložiště informací, displeje s tekutými krystaly, laserové paměti, elektronická řídicí zařízení atd. Mohou být také použity v oblasti povlakování skla, stejně jako v oblasti odolnosti proti opotřebení materiály, odolnost proti vysokoteplotní korozi, špičkové dekorativní výrobky a další průmyslová odvětví.
Naprašování je jednou z hlavních technik přípravy tenkých filmových materiálů.Využívá ionty generované iontovými zdroji k urychlení a agregaci ve vakuu k vytvoření vysokorychlostních energetických iontových paprsků, bombardování pevného povrchu a výměně kinetické energie mezi ionty a atomy pevného povrchu. Atomy na pevném povrchu opouštějí pevnou látku a ukládají se na povrch substrátu. Bombardovaná pevná látka je surovinou pro nanášení tenkých vrstev naprašováním, které se nazývá rozprašovací terč. Různé typy naprašovaných tenkovrstvých materiálů byly široce používány v polovodičových integrovaných obvodech, záznamových médiích, plochých displejích a povrchových nátěrech obrobků.
Mezi všemi aplikačními odvětvími má polovodičový průmysl nejpřísnější požadavky na kvalitu pro naprašovací filmy terčů. Vysoce čisté kovové naprašovací terče se používají hlavně při výrobě plátků a pokročilých balicích procesech. Vezmeme-li jako příklad výrobu čipu, můžeme vidět, že od křemíkového plátku k čipu musí projít 7 hlavními výrobními procesy, jmenovitě difúzí (tepelný proces), fotolitografií (fotolitografie), leptáním (leptání), Iontová implantace (IonImplant), růst tenkého filmu (dielektrická depozice), chemicko-mechanické leštění (CMP), metalizace (metalizace) Procesy odpovídají jeden po druhém. Rozprašovací terč se používá v procesu „metalizace“. Cíl je bombardován vysokoenergetickými částicemi pomocí zařízení pro nanášení tenkých vrstev a poté je na křemíkové destičce vytvořena kovová vrstva se specifickými funkcemi, jako je vodivá vrstva, bariérová vrstva. Počkejte. Vzhledem k tomu, že procesy celých polovodičů jsou různé, je potřeba příležitostných situací pro ověření, zda systém existuje správně, takže v určitých fázích výroby požadujeme některé druhy fiktivních materiálů pro potvrzení účinků.
Čas odeslání: 17. ledna 2022