Požadavky polovodičového průmyslu na požadavky na grafitový materiál jsou obzvláště vysoké, jemná velikost částic grafitu má vysokou přesnost, vysokou teplotní odolnost, vysokou pevnost, malé ztráty a další výhody, jako jsou: formy ze slinutých grafitových výrobků.Protože se vyžaduje, aby grafitová zařízení používaná v polovodičovém průmyslu (včetně ohřívačů a jejich slinutých matric) odolávala opakovaným procesům ohřevu a chlazení, aby se prodloužila životnost grafitových zařízení, je obvykle požadováno, aby použité grafitové materiály měly stabilní výkon. a tepelně odolná nárazová funkce.
01 Grafitové příslušenství pro růst polovodičových krystalů
Všechny procesy používané k růstu polovodičových krystalů probíhají za vysokých teplot a korozivního prostředí. Horká zóna pece pro růst krystalů je obvykle vybavena tepelně odolnými a korozi odolnými vysoce čistými grafitovými komponenty, jako je ohřívač, kelímek, izolační válec, vodicí válec, elektroda, držák kelímku, matice elektrody atd.
Dokážeme vyrobit veškeré grafitové díly zařízení na výrobu krystalů, které je možné dodat jednotlivě nebo v sadách, nebo zakázkové grafitové díly různých velikostí dle požadavků zákazníka. Velikost výrobků lze měřit na místě a obsah popela v hotových výrobcích může být nižšínež 5 ppm.
02 Grafitové příslušenství pro epitaxi polovodičů
Epitaxní proces se týká růstu vrstvy monokrystalického materiálu se stejným uspořádáním mřížky jako substrát na monokrystalovém substrátu. V epitaxním procesu je plátek naložen na grafitový disk. Výkon a kvalita grafitového disku hrají zásadní roli v kvalitě epitaxní vrstvy waferu. V oblasti epitaxní výroby je zapotřebí hodně grafitu ultra vysoké čistoty a grafitové báze vysoké čistoty s povlakem SIC.
Grafitový základ naší společnosti pro epitaxi polovodičů má širokou škálu aplikací, může odpovídat většině běžně používaných zařízení v průmyslu a má vysokou čistotu, jednotný povlak, vynikající životnost a vysokou chemickou odolnost a tepelnou stabilitu.
03 Grafitové příslušenství pro iontovou implantaci
Iontovou implantací se rozumí proces urychlení plazmového paprsku boru, fosforu a arsenu na určitou energii a jeho následné vstříknutí do povrchové vrstvy materiálu destičky, aby se změnily materiálové vlastnosti povrchové vrstvy. Komponenty iontového implantačního zařízení musí být vyrobeny z vysoce čistých materiálů s vynikající tepelnou odolností, tepelnou vodivostí, menší korozí způsobenou iontovým paprskem a nízkým obsahem nečistot. Vysoce čistý grafit splňuje aplikační požadavky a lze jej použít pro letovou trubici, různé štěrbiny, elektrody, kryty elektrod, vedení, zakončení paprsku atd. zařízení pro implantaci iontů.
Dokážeme zajistit nejen grafitový stínící kryt pro různé iontové implantační stroje, ale také vysoce čisté grafitové elektrody a iontové zdroje s vysokou odolností proti korozi různých specifikací. Použitelné modely: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM a další vybavení. Kromě toho můžeme také poskytnout odpovídající keramiku, wolfram, molybden, hliníkové výrobky a potažené díly.
04 Grafitové izolační materiály a další
Mezi tepelně izolační materiály používané v zařízeních na výrobu polovodičů patří grafitová tvrdá plsť, měkká plsť, grafitová fólie, grafitový papír a grafitové lano.
Všechny naše suroviny jsou dovážené grafity, které lze řezat dle konkrétní velikosti požadavků zákazníka nebo prodávat jako celek.
Uhlíko-uhlíkový tác se používá jako nosič pro filmové potahování ve výrobním procesu solárních monokrystalických křemíkových a polykrystalických křemíkových článků. Princip fungování je: vložte křemíkový čip do podnosu CFC a pošlete jej do trubky pece, kde se zpracuje filmový povlak.
