Preparazione è Miglioramentu di e Prestazioni di Materiali Cumposti Porosi di Carboniu è Siliciu

E batterie à ioni di litiu si sviluppanu principalmente in a direzzione di una alta densità energetica. À temperatura ambiente, i materiali di l'elettrodi negativi à basa di siliciu si leganu cù u litiu per pruduce un pruduttu riccu di litiu in fase Li3.75Si, cù una capacità specifica finu à 3572 mAh/g, chì hè assai più alta di a capacità specifica teorica di l'elettrodu negativu di grafite 372 mAh/g. Tuttavia, durante u prucessu di carica è scarica ripetuta di i materiali di l'elettrodi negativi à basa di siliciu, a trasfurmazione di fase di Si è Li3.75Si pò pruduce una enorme espansione di volume (circa 300%), chì porterà à a polverizzazione strutturale di i materiali di l'elettrodi è à a furmazione cuntinua di film SEI, è infine farà chì a capacità diminuisca rapidamente. L'industria migliora principalmente e prestazioni di i materiali di l'elettrodi negativi à basa di siliciu è a stabilità di e batterie à basa di siliciu per mezu di a nano-dimensionamentu, u rivestimentu di carbone, a furmazione di pori è altre tecnulugie.

I materiali di carbone anu una bona cunduttività, un costu bassu è fonti larghe. Puderanu migliurà a cunduttività è a stabilità superficiale di i materiali à basa di siliciu. Sò preferibilmente usati cum'è additivi per u miglioramentu di e prestazioni per l'elettrodi negativi à basa di siliciu. I materiali di siliciu-carbone sò a direzzione di sviluppu principale di l'elettrodi negativi à basa di siliciu. U rivestimentu di carbone pò migliurà a stabilità superficiale di i materiali à basa di siliciu, ma a so capacità di inibisce l'espansione di u vulume di siliciu hè generale è ùn pò micca risolve u prublema di l'espansione di u vulume di siliciu. Dunque, per migliurà a stabilità di i materiali à basa di siliciu, hè necessariu custruisce strutture porose. A fresatura à palle hè un metudu industrializatu per a preparazione di nanomateriali. Diversi additivi o cumpunenti di materiale ponu esse aghjunti à a sospensione ottenuta da a fresatura à palle secondu i requisiti di cuncepimentu di u materiale cumpostu. A sospensione hè dispersa uniformemente in varie sospensioni è asciugata à spruzzu. Durante u prucessu di asciugatura istantanea, e nanoparticelle è altri cumpunenti in a sospensione formeranu spontaneamente caratteristiche strutturali porose. Questu documentu utilizza a tecnulugia industrializzata è rispettosa di l'ambiente di fresatura à palle è asciugatura à spruzzu per preparà materiali porosi à basa di siliciu.

A prestazione di i materiali à basa di siliciu pò ancu esse migliurata regulendu a morfologia è e caratteristiche di distribuzione di i nanomateriali di siliciu. Attualmente, sò stati preparati materiali à basa di siliciu cù varie morfologie è caratteristiche di distribuzione, cum'è nanoaste di siliciu, nanosiliciu incrustatu in grafite porosa, nanosiliciu distribuitu in sfere di carbone, strutture porose in matrice di siliciu/grafene, ecc. À a listessa scala, paragunatu à e nanoparticelle, i nanofogli ponu supprimà megliu u prublema di schiacciamentu causatu da l'espansione di u vulume, è u materiale hà una densità di cumpattazione più alta. L'impilamentu disordinatu di i nanofogli pò ancu furmà una struttura porosa. Per unisce si à u gruppu di scambiu di elettrodi negativi di siliciu. Fornisce un spaziu buffer per l'espansione di u vulume di i materiali di siliciu. L'introduzione di nanotubi di carbone (CNT) pò micca solu migliurà a cunduttività di u materiale, ma ancu prumove a furmazione di strutture porose di u materiale per via di e so caratteristiche morfologiche unidimensionali. Ùn ci sò micca rapporti nantu à strutture porose custruite da nanofogli di siliciu è CNT. Questu articulu adotta i metudi di macinazione à sfere, macinazione è dispersione, asciugatura à spruzzu, pre-rivestimentu di carbone è calcinazione applicabili industrialmente, è introduce promotori porosi in u prucessu di preparazione per preparà materiali porosi per elettrodi negativi à basa di silicone furmati da l'autoassemblaggio di nanosheets di silicone è CNT. U prucessu di preparazione hè simplice, rispettuosu di l'ambiente, è ùn si genera alcun liquidu di scarto o residuu di scarto. Ci sò parechji rapporti di letteratura nantu à u rivestimentu di carbone di materiali à basa di silicone, ma ci sò poche discussioni approfondite nantu à l'effettu di u rivestimentu. Questu articulu usa l'asfaltu cum'è fonte di carbone per investigà l'effetti di dui metudi di rivestimentu di carbone, u rivestimentu in fase liquida è u rivestimentu in fase solida, nantu à l'effettu di rivestimentu è e prestazioni di i materiali per elettrodi negativi à basa di silicone.

 

1 Esperimentu



1.1 Preparazione di u materiale

A preparazione di materiali cumposti porosi di siliciu-carboniu include principalmente cinque tappe: macinazione à sfere, macinazione è dispersione, asciugatura à spruzzu, pre-rivestimentu di carbone è carbonizazione. Prima, pesate 500 g di polvere di silicone iniziale (domestica, purezza 99,99%), aghjunghjite 2000 g d'isopropanolu è eseguite a macinazione à sfere umida à una velocità di macinazione à sfere di 2000 r/min per 24 ore per ottene una sospensione di silicone à nanoscala. A sospensione di silicone ottenuta hè trasferita in un serbatoiu di trasferimentu di dispersione, è i materiali sò aghjunti secondu u rapportu di massa di siliciu: grafite (produtta in Shanghai, qualità batteria): nanotubi di carbone (produtti in Tianjin, qualità batteria): polivinilpirrolidone (produttu in Tianjin, qualità analitica) = 40:60:1,5:2. L'isopropanolu hè adupratu per aghjustà u cuntenutu solidu, è u cuntenutu solidu hè cuncipitu per esse 15%. A macinazione è a dispersione sò realizate à una velocità di dispersione di 3500 r/min per 4 ore. Un altru gruppu di fanghi senza aghjunghje CNT hè paragunatu, è l'altri materiali sò listessi. U fanghiu dispersu ottenutu hè tandu trasferitu in un tank d'alimentazione per asciugatura à spruzzu, è l'asciugatura à spruzzu hè realizata in una atmosfera prutetta da azotu, cù e temperature d'entrata è di uscita di 180 è 90 °C, rispettivamente. Dopu sò stati paragunati dui tipi di rivestimentu di carbone, u rivestimentu in fase solida è u rivestimentu in fase liquida. U metudu di rivestimentu in fase solida hè: a polvere secca à spruzzu hè mischiata cù 20% di polvere d'asfaltu (fatta in Corea, D50 hè 5 μm), mischiata in un miscelatore meccanicu per 10 minuti, è a velocità di miscelazione hè di 2000 giri/min per ottene una polvere pre-rivestita. U metudu di rivestimentu in fase liquida hè: a polvere secca à spruzzu hè aghjunta à una soluzione di xilene (fatta in Tianjin, qualità analitica) chì cuntene 20% d'asfaltu dissoltu in a polvere à un cuntenutu solidu di 55%, è agitata uniformemente sottu vuoto. Coce in un fornu à vuotu à 85 ℃ per 4 ore, mette in un miscelatore meccanicu per mischjà, a velocità di mischju hè di 2000 giri/min, è u tempu di mischju hè di 10 minuti per ottene una polvere pre-rivestita. Infine, a polvere pre-rivestita hè stata calcinata in un fornu rotativu sottu una atmosfera d'azotu à una velocità di riscaldamentu di 5 ° C/min. Hè stata prima mantenuta à una temperatura costante di 550 ° C per 2 ore, poi cuntinuata à scaldà finu à 800 ° C è mantenuta à una temperatura costante per 2 ore, è poi raffreddata naturalmente sottu à 100 ° C è scaricata per ottene un materiale cumpostu siliciu-carboniu.

 

1.2 Metodi di caratterizazione

A distribuzione di a dimensione di e particelle di u materiale hè stata analizata cù un tester di dimensione di e particelle (versione Mastersizer 2000, fabbricata in u Regnu Unitu). E polveri ottenute in ogni tappa sò state testate per microscopia elettronica à scansione (Regulus8220, fabbricata in Giappone) per esaminà a morfologia è a dimensione di e polveri. A struttura di fase di u materiale hè stata analizata cù un analizzatore di diffrazione di polvere à raggi X (D8 ADVANCE, fabbricatu in Germania), è a cumpusizione elementale di u materiale hè stata analizata cù un analizzatore di spettru energeticu. U materiale cumpostu siliciu-carboniu ottenutu hè statu utilizatu per fà una mezza cellula à buttone di mudellu CR2032, è u rapportu di massa siliciu-carboniu: SP: CNT: CMC: SBR era 92:2:2:1,5:2,5. U contraelettrodu hè una lamina metallica di litiu, l'elettrolitu hè un elettrolitu cummerciale (mudellu 1901, fattu in Corea), si usa u diafragma Celgard 2320, a gamma di tensione di carica è scarica hè 0,005-1,5 V, a corrente di carica è scarica hè 0,1 C (1C = 1A), è a corrente di taglio di scarica hè 0,05 C.

Per investigà più in prufundità e prestazioni di i materiali cumposti siliciu-carboniu, hè stata fabbricata una piccula batteria laminata soft-pack 408595. L'elettrodu pusitivu usa NCM811 (fabbricatu in Hunan, di qualità batteria), è a grafite di l'elettrodu negativu hè drogata cù 8% di materiale siliciu-carboniu. A formula di a pasta di l'elettrodu pusitivu hè 96% NCM811, 1,2% di fluoruru di polivinilidene (PVDF), 2% di agente conduttivu SP, 0,8% CNT, è NMP hè adupratu cum'è disperdente; a formula di a pasta di l'elettrodu negativu hè 96% di materiale cumpostu di elettrodu negativu, 1,3% CMC, 1,5% SBR 1,2% CNT, è l'acqua hè aduprata cum'è disperdente. Dopu avè mischjatu, rivestimentu, laminazione, laminazione, saldatura di linguette, imballaggio, cottura, iniezione di liquidi, furmazione è divisione di capacità, sò state preparate batterie laminate soft-pack 408595 small cù una capacità nominale di 3 Ah. Sò state testate e prestazioni di velocità di 0,2C, 0,5C, 1C, 2C è 3C è e prestazioni di u ciclu di carica di 0,5C è scarica di 1C. L'intervallu di tensione di carica è scarica era 2,8-4,2 V, corrente costante è carica à tensione costante, è a corrente di taglio era 0,5C.

 

2 Risultati è Discussione


A polvere di siliciu iniziale hè stata osservata per microscopia elettronica à scansione (SEM). A polvere di siliciu era irregularmente granulare cù una dimensione di particelle inferiore à 2 μm, cum'è mostratu in a Figura 1 (a). Dopu a macinazione à palle, a dimensione di a polvere di siliciu hè stata significativamente ridutta à circa 100 nm [Figura 1 (b)]. U test di dimensione di e particelle hà dimustratu chì u D50 di a polvere di siliciu dopu a macinazione à palle era di 110 nm è u D90 era di 175 nm. Un esame attento di a morfologia di a polvere di siliciu dopu a macinazione à palle mostra una struttura a scaglie (a furmazione di a struttura a scaglie serà verificata ulteriormente da u SEM trasversale più tardi). Dunque, i dati D90 ottenuti da u test di dimensione di e particelle devenu esse a dimensione di lunghezza di u nanosheet. Cumbinatu cù i risultati SEM, si pò ghjudicà chì a dimensione di u nanosheet ottenutu hè più chjuca di u valore criticu di 150 nm di a rottura di a polvere di siliciu durante a carica è a scarica in almenu una dimensione. A furmazione di a murfulugia sfaldata hè principalmente duvuta à e diverse energie di dissociazione di i piani cristallini di u siliciu cristallinu, frà i quali u pianu {111} di u siliciu hà una energia di dissociazione più bassa chè i piani cristallini {100} è {110}. Dunque, questu pianu cristallinu hè più facilmente diluitu da a macinazione à palle, è infine forma una struttura sfaldata. A struttura sfaldata hè favurevule à l'accumulazione di strutture sciolte, riserva spaziu per l'espansione di u vulume di u siliciu è migliora a stabilità di u materiale.

640 (10)

A pasta chì cuntene nano-siliciu, CNT è grafite hè stata spruzzata, è a polvere prima è dopu a spruzzatura hè stata esaminata da SEM. I risultati sò mostrati in a Figura 2. A matrice di grafite aghjunta prima di a spruzzatura hè una struttura tipica in fiocchi cù una dimensione da 5 à 20 μm [Figura 2(a)]. U test di distribuzione di a dimensione di e particelle di grafite mostra chì D50 hè 15 μm. A polvere ottenuta dopu a spruzzatura hà una morfologia sferica [Figura 2(b)], è si pò vede chì a grafite hè rivestita da u stratu di rivestimentu dopu a spruzzatura. U D50 di a polvere dopu a spruzzatura hè 26,2 μm. E caratteristiche morfologiche di e particelle secundarie sò state osservate da SEM, mustrendu e caratteristiche di una struttura porosa sciolta accumulata da nanomateriali [Figura 2(c)]. A struttura porosa hè cumposta da nanofogli di siliciu è CNT intrecciati trà di elli [Figura 2(d)], è a superficia specifica di u test (BET) hè alta cum'è 53,3 m2/g. Dunque, dopu a spruzzatura, i nanosfogli di siliciu è i CNT s'assemblanu per furmà una struttura porosa.

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U stratu porosu hè statu trattatu cù un rivestimentu di carbone liquidu, è dopu avè aghjuntu u precursore di rivestimentu di carbone è a carbonizazione, hè stata realizata l'osservazione SEM. I risultati sò mostrati in a Figura 3. Dopu u pre-rivestimentu di carbone, a superficia di e particelle secundarie diventa liscia, cù un stratu di rivestimentu evidente, è u rivestimentu hè cumpletu, cum'è mostratu in e Figure 3 (a) è (b). Dopu a carbonizazione, u stratu di rivestimentu superficiale mantene un bonu statu di rivestimentu [Figura 3 (c)]. Inoltre, l'immagine SEM in sezione trasversale mostra nanoparticelle in forma di striscia [Figura 3 (d)], chì currispondenu à e caratteristiche morfologiche di i nanofogli, verificendu ulteriormente a furmazione di nanofogli di silicone dopu a macinazione à palle. Inoltre, a Figura 3 (d) mostra chì ci sò riempitivi trà alcuni nanofogli. Questu hè principalmente duvutu à l'usu di u metudu di rivestimentu in fase liquida. A suluzione d'asfaltu penetrerà in u materiale, in modu chì a superficia di i nanofogli di silicone interni ottenga un stratu protettivu di rivestimentu di carbone. Dunque, aduprendu u rivestimentu in fase liquida, in più di ottene l'effettu di rivestimentu di particelle secundarie, si pò ancu ottene l'effettu di doppiu rivestimentu di carbone di u rivestimentu di particelle primarie. A polvere carbonizzata hè stata testata da BET, è u risultatu di a prova hè statu di 22,3 m2/g.

640 (5)

A polvere carbonizzata hè stata sottumessa à un'analisi di u spettru energeticu trasversale (EDS), è i risultati sò mostrati in a Figura 4(a). U core di dimensioni microniche hè un cumpunente C, chì currisponde à a matrice di grafite, è u rivestimentu esternu cuntene siliciu è ossigenu. Per investigà più in prufundità a struttura di u siliciu, hè stata realizata una prova di diffrazione di raggi X (XRD), è i risultati sò mostrati in a Figura 4(b). U materiale hè principalmente cumpostu di grafite è siliciu monocristallinu, senza caratteristiche evidenti di ossidu di siliciu, ciò chì indica chì u cumpunente di l'ossigenu di a prova di u spettru energeticu vene principalmente da l'ossidazione naturale di a superficia di u siliciu. U materiale cumpostu siliciu-carboniu hè registratu cum'è S1.

640 (9)

 

U materiale siliciu-carboniu S1 preparatu hè statu sottumessu à testi di pruduzzione di mezze cellule di tipu buttone è à testi di carica-scarica. A prima curva di carica-scarica hè mostrata in a Figura 5. A capacità specifica reversibile hè 1000,8 mAh/g, è l'efficienza di u primu ciclu hè alta cum'è 93,9%, chì hè più alta di a prima efficienza di a maiò parte di i materiali à basa di siliciu senza pre-litiazione riportata in a literatura. L'alta prima efficienza indica chì u materiale cumpostu siliciu-carboniu preparatu hà una alta stabilità. Per verificà l'effetti di a struttura porosa, a rete conduttiva è u rivestimentu di carbone nantu à a stabilità di i materiali siliciu-carboniu, dui tipi di materiali siliciu-carboniu sò stati preparati senza aghjunghje CNT è senza rivestimentu di carbone primariu.

640 (8)

A murfulugia di a polvere carbonizzata di u materiale cumpostu siliciu-carboniu senza aghjunghje CNT hè mostrata in a Figura 6. Dopu u rivestimentu in fase liquida è a carbonizazione, un stratu di rivestimentu pò esse vistu chjaramente nantu à a superficia di e particelle secundarie in a Figura 6 (a). U SEM di sezione trasversale di u materiale carbonizatu hè mostratu in a Figura 6 (b). L'impilamentu di nanosheets di siliciu hà caratteristiche porose, è u test BET hè 16,6 m2 / g. Tuttavia, paragunatu à u casu cù CNT [cum'è mostratu in a Figura 3 (d), u test BET di a so polvere carbonizzata hè 22,3 m2 / g], a densità interna di impilamentu di nano-siliciu hè più alta, chì indica chì l'aghjunta di CNT pò prumove a furmazione di una struttura porosa. Inoltre, u materiale ùn hà micca una rete conduttiva tridimensionale custruita da CNT. U materiale cumpostu siliciu-carboniu hè registratu cum'è S2.

640 (3)

E caratteristiche morfologiche di u materiale cumpostu siliciu-carboniu preparatu da u rivestimentu di carbone in fase solida sò mostrate in a Figura 7. Dopu a carbonizazione, ci hè un stratu di rivestimentu evidente nantu à a superficia, cum'è mostratu in a Figura 7 (a). A Figura 7 (b) mostra chì ci sò nanoparticelle in forma di striscia in a sezione trasversale, chì currisponde à e caratteristiche morfologiche di i nanosheets. L'accumulazione di nanosheets forma una struttura porosa. Ùn ci hè micca un riempitore evidente nantu à a superficia di i nanosheets interni, ciò chì indica chì u rivestimentu di carbone in fase solida forma solu un stratu di rivestimentu di carbone cù una struttura porosa, è ùn ci hè micca un stratu di rivestimentu internu per i nanosheets di siliciu. Stu materiale cumpostu siliciu-carboniu hè registratu cum'è S3.

640 (7)

A prova di carica è scarica di mezza cellula di tipu buttone hè stata realizata nantu à S2 è S3. A capacità specifica è a prima efficienza di S2 eranu 1120,2 mAh/g è 84,8%, rispettivamente, è a capacità specifica è a prima efficienza di S3 eranu 882,5 mAh/g è 82,9%, rispettivamente. A capacità specifica è a prima efficienza di u campione S3 rivestitu in fase solida eranu e più basse, ciò chì indica chì solu u rivestimentu di carbone di a struttura porosa hè statu realizatu, è u rivestimentu di carbone di i nanosheets di silicone interni ùn hè statu realizatu, ciò chì ùn pudia micca dà pienu ghjocu à a capacità specifica di u materiale à basa di silicone è ùn pudia micca prutege a superficia di u materiale à basa di silicone. A prima efficienza di u campione S2 senza CNT era ancu più bassa di quella di u materiale cumpostu siliciu-carboniu chì cuntene CNT, ciò chì indica chì, in basa à un bonu stratu di rivestimentu, a rete conduttiva è un gradu più altu di struttura porosa sò favurevuli à u miglioramentu di l'efficienza di carica è scarica di u materiale siliciu-carboniu.

640 (2)

U materiale siliciu-carboniu S1 hè statu utilizatu per fà una piccula batteria cumpleta soft-pack per esaminà e prestazioni di velocità è e prestazioni di u ciclu. A curva di a velocità di scarica hè mostrata in a Figura 8(a). E capacità di scarica di 0.2C, 0.5C, 1C, 2C è 3C sò 2.970, 2.999, 2.920, 2.176 è 1.021 Ah, rispettivamente. A velocità di scarica 1C hè alta cum'è 98.3%, ma a velocità di scarica 2C scende à 73.3%, è a velocità di scarica 3C scende ulteriormente à 34.4%. Per unisce à u gruppu di scambiu di elettrodi negativi di siliciu, aghjunghjite WeChat: shimobang. In termini di velocità di carica, e capacità di carica 0.2C, 0.5C, 1C, 2C è 3C sò 3.186, 3.182, 3.081, 2.686 è 2.289 Ah, rispettivamente. A velocità di carica 1C hè di 96,7%, è a velocità di carica 2C righjunghje sempre l'84,3%. Tuttavia, osservendu a curva di carica in a Figura 8(b), a piattaforma di carica 2C hè significativamente più grande di a piattaforma di carica 1C, è a so capacità di carica à tensione costante rapprisenta a maiò parte (55%), ciò chì indica chì a polarizazione di a batteria ricaricabile 2C hè digià assai grande. U materiale siliciu-carbonu hà una bona prestazione di carica è scarica à 1C, ma e caratteristiche strutturali di u materiale devenu esse ulteriormente migliurate per ottene prestazioni di velocità più elevate. Cum'è mostratu in a Figura 9, dopu à 450 cicli, a velocità di ritenzione di a capacità hè di 78%, ciò chì mostra una bona prestazione di u ciclu.

640 (4)

U statu di a superficia di l'elettrodu prima è dopu u ciclu hè statu investigatu da SEM, è i risultati sò mostrati in a Figura 10. Prima di u ciclu, a superficia di i materiali di grafite è di siliciu-carbonu hè chjara [Figura 10 (a)]; dopu u ciclu, un stratu di rivestimentu hè ovviamente generatu nantu à a superficia [Figura 10 (b)], chì hè un film SEI grossu. Rugosità di u film SEI U cunsumu attivu di litiu hè altu, ciò chì ùn hè micca favurevule à e prestazioni di u ciclu. Dunque, prumove a furmazione di un film SEI lisciu (cum'è a custruzzione di film SEI artificiale, aghjunghjendu additivi elettrolitici adatti, ecc.) pò migliurà e prestazioni di u ciclu. L'osservazione SEM trasversale di e particelle di siliciu-carbonu dopu u ciclu [Figura 10 (c)] mostra chì e nanoparticelle di siliciu originali in forma di striscia sò diventate più grosse è a struttura porosa hè stata basicamente eliminata. Questu hè principalmente duvutu à l'espansione è a cuntrazione cuntinua di u vulume di u materiale di siliciu-carbonu durante u ciclu. Dunque, a struttura porosa deve esse ulteriormente migliorata per furnisce un spaziu buffer sufficiente per l'espansione di u vulume di u materiale à basa di siliciu.

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3 Cunclusione

Basatu annantu à l'espansione di u vulume, a scarsa cunduttività è a scarsa stabilità di l'interfaccia di i materiali di l'elettrodi negativi à basa di siliciu, questu articulu face miglioramenti mirati, da a furmazione di a morfologia di i nanosheets di siliciu, a custruzzione di a struttura porosa, a custruzzione di a rete conduttiva è u rivestimentu cumpletu di carbone di tutte e particelle secundarie, per migliurà a stabilità di i materiali di l'elettrodi negativi à basa di siliciu in tuttu. L'accumulazione di nanosheets di siliciu pò furmà una struttura porosa. L'introduzione di CNT prumoverà ulteriormente a furmazione di una struttura porosa. U materiale cumpostu siliciu-carboniu preparatu da u rivestimentu in fase liquida hà un effettu di doppiu rivestimentu di carbone chè quellu preparatu da u rivestimentu in fase solida, è mostra una capacità specifica è una prima efficienza più elevate. Inoltre, a prima efficienza di u materiale cumpostu siliciu-carboniu chì cuntene CNT hè più alta chè quella senza CNT, ciò chì hè principalmente duvutu à u più altu gradu di capacità di a struttura porosa di alleviare l'espansione di u vulume di i materiali à basa di siliciu. L'introduzione di CNT custruirà una rete conduttiva tridimensionale, migliurà a cunduttività di i materiali à basa di siliciu è mostrerà una bona prestazione di velocità à 1C; è u materiale mostra una bona prestazione di ciclu. Tuttavia, a struttura porosa di u materiale hà bisognu di esse ulteriormente rinfurzata per furnisce un spaziu tampone sufficiente per l'espansione di u vulume di u siliciu, è prumove a furmazione di una struttura liscia.è una film SEI densa per migliurà ulteriormente e prestazioni di u ciclu di u materiale cumpostu siliciu-carboniu.

Fornemu ancu prudutti di grafite è carburo di siliciu di alta purezza, chì sò largamente aduprati in a trasfurmazione di wafer cum'è l'ossidazione, a diffusione è a ricottura.

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Data di publicazione: 13 di nuvembre di u 2024
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