Durante u prucessu di epitassi in fase di vapore (VPE), u rolu di u pedestal hè di sustene u sustrato è assicurà un riscaldamentu uniforme durante u prucessu di crescita. Diversi tipi di pedestali sò adattati per diverse cundizioni di crescita è sistemi di materiale. Eccu alcuni di i tipi di pedestal cumunimenti usati in a fase di vaporeepitassi:
Pedestal di canna
I pedestali di canna sò comunmente usati in sistemi di epitassi in fase di vapore horizontale o inclinata. Puderanu mantene u sustrato è permettenu à u gasu di flussu nantu à u sustrato, chì aiuta à ottene una crescita epitaxial uniforme.
Pedestal in forma di discu (pedestal verticale)
Pedestals in forma di discu sò adattati per i sistemi di epitassi di fase di vapore verticale, in quale u sustrato hè situatu verticalmente. Stu disignu aiuta à riduce l'area di cuntattu trà u sustrato è u susceptor, riducendu cusì a perdita di calore è a contaminazione potenziale.
Susceptor horizontale
I suscettori orizontali sò menu cumuni in l'epitassia in fase di vapore, ma ponu esse aduprati in certi sistemi di crescita specifichi per permette a crescita epitaxial in una direzzione horizontale.
Suscettore monoliticu di reazione epitassiale
U susceptor di reazione epitaxiale monoliticu hè pensatu per un sustrato unicu, chì pò furnisce un cuntrollu di temperatura più precisu è un isolamentu termale megliu, adattatu per a crescita di strati epitaxiali d'alta qualità.
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Tempu di post: Jul-30-2024