Quandu u cristallu di carburu di siliciu cresce, l'"ambientu" di l'interfaccia di crescita trà u centru assiale di u cristallu è u bordu hè diversu, cusì chì u stress di cristallo nantu à u bordu aumenta, è u bordu di cristallu hè faciule per pruduce "difetti cumplessi" per via. à l 'influenza di u grafite stop ring "carbone", quantu à risolviri u prublema bordu o cresce u spaziu effittiva di u centru (più di 95%) hè un tema tecnicu impurtante.
Siccomu i difetti macro cum'è "microtubuli" è "inclusioni" sò gradualmente cuntrullati da l'industria, sfida à i cristalli di carburu di siliciu à "cresce rapidamente, longu è grossu, è crescenu", i "difetti cumplessi" di u bordu sò anormalmente prominenti, è cù u aumentu di u diamitru è u grossu di i cristalli di carburu di siliciu, u bordu "difetti cumpleta" serà multiplicatu da u quadru di diamitru è u grossu.
L'usu di u revestimentu di carburu di tantalu TaC hè di risolve u prublema di u bordu è di migliurà a qualità di a crescita di cristalli, chì hè una di e direzzione tecniche core di "crescente veloce, crescente grossu è crescente". Per prumove u sviluppu di a tecnulugia di l'industria è risolve a dipendenza di "impurtazione" di materiali chjave, Hengpu hà scupertu risolve a tecnulugia di rivestimentu di carburu di tantalu (CVD) è hà righjuntu u livellu avanzatu internaziunale.
Tantali carbure TaC rivestimentu, da a perspettiva di a realizazione ùn hè micca difficiule, cù sinterizzazione, CVD è altri metudi sò faciuli à ghjunghje. U metudu di sinterizazione, l'usu di polvere di carburu di tantalu o precursore, aghjunghjendu ingredienti attivi (in generale metalli) è agenti di ligame (in generale polimeru di catena longa), rivestiti à a superficia di u sustrato di grafite sinterizzatu à alta temperatura. Per u metudu CVD, TaCl5 + H2 + CH4 hè statu dipositu nantu à a superficia di a matrice di grafite à 900-1500 ℃.
Tuttavia, i paràmetri basi cum'è l'orientazione di u cristallu di a deposizione di carburu di tantalu, u spessore di film uniforme, a liberazione di stress trà u rivestimentu è a matrice di grafite, i cracke di a superficia, etc., sò estremamente sfida. In particulare in l'ambienti di crescita di cristalli sic, una vita di serviziu stabile hè u paràmetru core, hè u più difficiule.
Tempu di post: Jul-21-2023