0Unsa ang unom ka sistema sa usa ka kristal nga hudno

Ang usa ka kristal nga hurno usa ka himan nga naggamit sa usa kagraphite heateraron matunaw ang polycrystalline silicon nga mga materyales sa usa ka inert gas (argon) nga palibot ug gigamit ang Czochralski nga pamaagi aron motubo ang mga non-dislocated single crystals. Kini nag-una nga gilangkoban sa mosunod nga mga sistema:

Mekanikal nga transmission system

Ang mekanikal nga transmission system mao ang sukaranan nga operating system sa usa ka kristal nga hurno, nga nag-una nga responsable sa pagkontrol sa paglihok sa mga kristal ugmga crucible, lakip ang pagbayaw ug pagtuyok sa mga kristal sa binhi ug ang pagbayaw ug pagtuyok samga crucible. Mahimo kini nga tukma nga mag-adjust sa mga parameter sama sa posisyon, katulin ug anggulo sa rotation sa mga kristal ug crucibles aron masiguro ang hapsay nga pag-uswag sa proseso sa pagtubo sa kristal. Pananglitan, sa lain-laing mga yugto sa pagtubo sa kristal sama sa seeding, necking, shouldering, patas nga diametro nga pagtubo ug tailing, ang paglihok sa mga liso nga kristal ug crucibles kinahanglan nga tukma nga kontrolado sa niini nga sistema sa pagsugat sa mga kinahanglanon sa proseso sa kristal pagtubo.

Sistema sa pagkontrol sa temperatura sa pagpainit

Kini usa sa mga kinauyokan nga sistema sa usa ka kristal nga hurno, nga gigamit sa pagmugna og kainit ug tukma nga pagkontrol sa temperatura sa hudno. Nag-una kini nga gilangkoban sa mga sangkap sama sa mga heater, mga sensor sa temperatura, ug mga tigkontrol sa temperatura. Ang heater kasagarang ginama sa mga materyales sama sa high-purity graphite. Human mabag-o ang alternating current ug maminusan aron madugangan ang kasamtangan, ang heater nagpatunghag kainit aron matunaw ang mga polycrystalline nga materyales sama sa polysilicon sa tunawan. Gibantayan sa sensor sa temperatura ang mga pagbag-o sa temperatura sa hurno sa tinuud nga oras ug gipasa ang signal sa temperatura sa tigkontrol sa temperatura. Ang tigkontrol sa temperatura tukma nga nagkontrol sa gahum sa pagpainit sumala sa gitakda nga mga parameter sa temperatura ug ang signal sa temperatura sa feedback, sa ingon nagpadayon ang kalig-on sa temperatura sa hudno ug naghatag usa ka angay nga palibot sa temperatura alang sa pagtubo sa kristal.

Sistema sa vacuum

Ang nag-unang function sa vacuum system mao ang paghimo ug pagpadayon sa usa ka vacuum nga palibot sa hudno sa panahon sa proseso sa pagtubo sa kristal. Ang hangin ug kahugawan nga mga gas sa hudno gikuha pinaagi sa mga vacuum pump ug uban pang kagamitan aron mahimo ang presyur sa gas sa hudno nga moabot sa usa ka hilabihan ka ubos nga lebel, kasagaran ubos sa 5TOR (torr). Makapugong kini sa materyal nga silicon nga ma-oxidized sa taas nga temperatura ug masiguro ang kaputli ug kalidad sa pagtubo sa kristal. Sa parehas nga oras, ang vacuum nga palibot makatabang usab sa pagtangtang sa dali nga mga hugaw nga nahimo sa panahon sa proseso sa pagtubo sa kristal ug pagpauswag sa kalidad sa kristal.

Argon nga sistema

Ang sistema sa argon adunay papel sa pagpanalipod ug pag-regulate sa presyur sa hudno sa usa ka kristal nga hudno. Human sa pag-vacuum, ang high-purity argon gas (kaputli kinahanglan nga labaw sa 6 9) napuno sa hudno. Sa usa ka bahin, kini makapugong sa hangin sa gawas sa pagsulod sa hudno ug makapugong sa mga materyales sa silicon nga ma-oxidized; sa laing bahin, ang pagpuno sa argon gas makapadayon sa presyur sa hudno nga lig-on ug makahatag og angay nga pressure environment alang sa pagtubo sa kristal. Dugang pa, ang dagan sa argon gas mahimo usab nga makuha ang kainit nga namugna sa panahon sa proseso sa pagtubo sa kristal, nga nagdula sa usa ka piho nga papel sa pagpabugnaw.

Sistema sa pagpabugnaw sa tubig

Ang function sa water cooling system mao ang pagpabugnaw sa lain-laing mga high-temperature nga mga sangkap sa usa ka kristal nga hurno aron masiguro ang normal nga operasyon ug serbisyo sa kinabuhi sa kagamitan. Atol sa operasyon sa usa ka kristal nga hudno, ang heater,tunawan sa tubig, electrode ug uban pang mga sangkap makamugna og daghang kainit. Kung dili sila pabugnawon sa oras, ang mga kagamitan mag-overheat, mag-deform o madaot pa. Gikuha sa sistema sa pagpabugnaw sa tubig ang kainit niini nga mga sangkap pinaagi sa pag-circulate sa makapabugnaw nga tubig aron mapadayon ang temperatura sa kagamitan sa usa ka luwas nga sakup. Sa parehas nga oras, ang sistema sa pagpabugnaw sa tubig makatabang usab sa pag-adjust sa temperatura sa hudno aron mapauswag ang katukma sa pagkontrol sa temperatura.

Sistema sa pagkontrol sa elektrisidad

Ang sistema sa pagkontrol sa elektrisidad mao ang "utok" sa usa ka kristal nga hurno, nga responsable sa pag-monitor ug pagkontrol sa operasyon sa tibuuk nga kagamitan. Makadawat kini og mga signal gikan sa lainlaing mga sensor, sama sa mga sensor sa temperatura, mga sensor sa presyur, mga sensor sa posisyon, ug uban pa, ug pag-coordinate ug pagkontrol sa mekanikal nga transmission system, sistema sa pagkontrol sa temperatura sa pagpainit, sistema sa vacuum, sistema sa argon ug sistema sa pagpabugnaw sa tubig base sa kini nga mga signal. Pananglitan, sa panahon sa proseso sa pagtubo sa kristal, ang sistema sa pagkontrol sa elektrisidad mahimong awtomatik nga mag-adjust sa gahum sa pagpainit sumala sa signal sa temperatura nga gipakaon balik sa sensor sa temperatura; sumala sa pagtubo sa kristal, makontrol niini ang katulin sa paglihok ug anggulo sa rotation sa liso nga kristal ug crucible. Sa parehas nga oras, ang sistema sa pagkontrol sa elektrisidad adunay usab pagdayagnos sa sayup ug mga function sa alarma, nga makamatikod sa dili normal nga mga kahimtang sa kagamitan sa oras ug masiguro ang luwas nga operasyon sa kagamitan.