Atol sa proseso sa vapor phase epitaxy (VPE), ang papel sa pedestal mao ang pagsuporta sa substrate ug pagsiguro sa uniporme nga pagpainit sa panahon sa proseso sa pagtubo. Ang lainlaing mga lahi sa mga pedestal angay alang sa lainlaing mga kondisyon sa pagtubo ug mga sistema sa materyal. Ang mosunod mao ang pipila sa kasagarang gigamit nga mga tipo sa pedestal sa vapor phaseepitaxy:
Ang mga barrel pedestal sagad nga gigamit sa pinahigda o tilted vapor phase epitaxy system. Mahimo nilang huptan ang substrate ug tugotan ang gas nga moagos ibabaw sa substrate, nga makatabang sa pagkab-ot sa uniporme nga pagtubo sa epitaxial.
Pedestal nga pormag disc (bertikal nga pedestal)
Ang pormag-disk nga mga pedestal angayan alang sa bertikal nga vapor phase epitaxy system, diin ang substrate gibutang nga patindog. Kini nga disenyo makatabang sa pagpakunhod sa kontak nga dapit tali sa substrate ug sa susceptor, sa ingon pagkunhod sa kainit pagkawala ug potensyal nga kontaminasyon.
Horizontal nga susceptor
Ang pinahigda nga mga susceptor dili kaayo komon sa vapor phase epitaxy, apan mahimong gamiton sa pipila ka piho nga sistema sa pagtubo aron tugotan ang epitaxial nga pagtubo sa pinahigda nga direksyon.
Monolithic epitaxial reaction susceptor
Ang monolithic epitaxial reaction susceptor gidisenyo alang sa usa ka substrate, nga makahatag og mas tukma nga pagkontrol sa temperatura ug mas maayo nga thermal isolation, nga angay alang sa pagtubo sa taas nga kalidad nga epitaxial layers.
Welcome sa among website para sa impormasyon sa produkto ug konsultasyon.
Ang among website: https://www.vet-china.com/
Oras sa pag-post: Hul-30-2024