Carbur de siliciés un compost dur que conté silici i carboni, i es troba a la natura com el mineral molt rar moissanita. Les partícules de carbur de silici es poden unir per sinterització per formar ceràmiques molt dures, que s'utilitzen àmpliament en aplicacions que requereixen una gran durabilitat, especialment en processaments de semiconductors.
Estructura física del SiC
Què és el recobriment de SiC?
El recobriment de SiC és un recobriment dens i resistent al desgast de carbur de silici amb una alta resistència a la corrosió i la calor i una excel·lent conductivitat tèrmica. Aquest recobriment de SiC d'alta puresa s'utilitza principalment a les indústries de semiconductors i electrònica per protegir els suports d'hòsties, bases i elements de calefacció d'entorns corrosius i reactius. El recobriment de SiC també és adequat per a forns de buit i escalfament de mostres en entorns de buit elevat, reactius i d'oxigen.
Superfície de recobriment de SiC d'alta puresa
Què és el procés de recobriment de SiC?
Es diposita una fina capa de carbur de silici a la superfície del substrat utilitzantCVD (Deposició de vapor químic). La deposició es realitza normalment a temperatures d'entre 1200 i 1300 °C i el comportament d'expansió tèrmica del material del substrat ha de ser compatible amb el recobriment de SiC per minimitzar l'estrès tèrmic.
Revestiment CVD SIC FILM CRYSTAL ESTRUCTURE
Les propietats físiques del recobriment de SiC es reflecteixen principalment en la seva resistència a alta temperatura, duresa, resistència a la corrosió i conductivitat tèrmica.
Els paràmetres físics típics solen ser els següents:
Duresa: Els recobriments de SiC solen tenir una duresa Vickers en el rang de 2000-2500 HV, que els proporciona una resistència al desgast i als impactes extremadament alta en aplicacions industrials.
Densitat: Els recobriments de SiC solen tenir una densitat de 3,1-3,2 g/cm³. L'alta densitat contribueix a la resistència mecànica i la durabilitat del recobriment.
Conductivitat tèrmica: Els recobriments de SiC tenen una alta conductivitat tèrmica, normalment en el rang de 120-200 W/mK (a 20 °C). Això li confereix una bona conductivitat tèrmica en entorns d'alta temperatura i el fa especialment adequat per a equips de tractament tèrmic a la indústria dels semiconductors.
Punt de fusió: el carbur de silici té un punt de fusió d'aproximadament 2730 °C i té una excel·lent estabilitat tèrmica a temperatures extremes.
Coeficient d'expansió tèrmica: Els recobriments de SiC tenen un baix coeficient lineal d'expansió tèrmica (CTE), normalment en el rang de 4,0-4,5 µm/mK (entre 25-1000 ℃). Això significa que la seva estabilitat dimensional és excel·lent davant grans diferències de temperatura.
Resistència a la corrosió: Els recobriments de SiC són extremadament resistents a la corrosió en ambients àcids forts, àlcalis i oxidants, especialment quan s'utilitzen àcids forts (com HF o HCl), la seva resistència a la corrosió supera amb escreix la dels materials metàl·lics convencionals.
Els recobriments de SiC es poden aplicar als següents materials:
Grafit isostàtic d'alta puresa (baix CTE)
Tungstè
Molibdè
Carbur de silici
Nitrur de silici
Composites de carboni-carboni (CFC)
Els productes recoberts de SiC s'utilitzen habitualment en les àrees següents:
Producció de xips LED
Producció de polisilici
Semiconductorcreixement de cristalls
Silici iEpitaxia SiC
Tractament tèrmic d'hòsties i gravat
Per què triar VET Energy?
VET Energy és un fabricant líder, innovador i líder de productes de recobriment de SiC a la Xina, els principals productes de recobriment de SiC inclouensuport d'hòsties amb recobriment de SiC, recobert de SiCsusceptor epitaxial, Anell de grafit recobert de SiC, Parts de mitja lluna amb recobriment de SiC, Compost de carboni-carboni recobert de SiC, Vaixell d'hòstia recobert de SiC, Escalfador recobert de SiC, etc. VET Energy es compromet a proporcionar a la indústria dels semiconductors la tecnologia i solucions de producte últimes, i admet serveis de personalització. Esperem sincerament ser el vostre soci a llarg termini a la Xina.
Si tens qualsevol consulta o necessites més detalls, no dubtis a posar-te en contacte amb nosaltres.
Whatsapp i Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Hora de publicació: 18-octubre-2024