TaC obloženi susceptor za opremu za epitaksiju

Kratak opis:

VET pruža specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače. Vodeći VET-ov proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva, i produžavajući vijek trajanja ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a VET je proboj riješio tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši ​​međunarodni napredni nivo.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

TaC coatedsupstrat je tanak film napravljen odtantal karbidamaterijala, koji se nanosi na površinu podloge epitaksijalne opreme.TaC premazima mnogo odličnih svojstava, što ga čini idealnim izborom.

TaC premaz je vrsta premaza od tantal karbida (TaC) pripremljenog tehnologijom fizičkog taloženja parom, ima sljedeće karakteristike:

1. Visoka tvrdoća: TaC tvrdoća premaza je visoka, obično može doseći 2500-3000HV, odličan je tvrdi premaz.

2. Otpornost na habanje: TaC premaz je veoma otporan na habanje, što može efikasno smanjiti habanje i oštećenja mehaničkih delova tokom upotrebe.

3. Dobra otpornost na visoke temperature: TaC premaz također može održati svoje odlične performanse pod visokim temperaturama.

4. Dobra hemijska stabilnost: TaC premaz ima dobru hemijsku stabilnost i može odoleti mnogim hemijskim reakcijama, kao što su kiseline i baze.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fizička svojstva TaC premazivanje

密度/ Gustina

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Specifična emisivnost

0.3

热膨胀系数 / Koeficijent toplinske ekspanzije

6.3 10-6/K

努氏硬度/ tvrdoća (HK)

2000 HK

电阻 / Otpor

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termička stabilnost

<2500℃

石墨尺寸变化 / Promjene veličine grafita

-10~-20um

涂层厚度 / Debljina premaza

≥20um tipična vrijednost (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije koji pokrivaju grafit, silicijum karbid, keramiku, površinsku obradu i tako dalje. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskoj, poluvodičkoj, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može Vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Prethodno:
  • sljedeće:

  • WhatsApp Online ćaskanje!