Šta je sic premaz?

Silicon Carbideje tvrdo jedinjenje koje sadrži silicijum i ugljik, a nalazi se u prirodi kao izuzetno rijedak mineral moissanite. Čestice silicijum karbida mogu se međusobno povezati sinterovanjem kako bi se formirala veoma tvrda keramika, koja se široko koristi u aplikacijama koje zahtevaju visoku izdržljivost, posebno u procesiranju poluprovodnika.

Fizička struktura SiC

SiC premaz je gust, otporan na habanje premaz od silicijum karbida sa visokom otpornošću na koroziju i toplotu i odličnom toplotnom provodljivošću. Ovaj SiC premaz visoke čistoće prvenstveno se koristi u industriji poluvodiča i elektronike za zaštitu nosača pločica, baza i grijaćih elemenata od korozivnog i reaktivnog okruženja. SiC premaz je također pogodan za vakuumske peći i zagrijavanje uzoraka u visokovakuumskim, reaktivnim i kisikovim okruženjima.

Površina premaza od SiC visoke čistoće

Šta je proces nanošenja SiC premaza?

Na površinu podloge se nanosi tanak sloj silicijum karbidaCVD (hemijsko taloženje pare). Taloženje se obično vrši na temperaturama od 1200-1300°C, a ponašanje materijala podloge pri termičkom širenju treba da bude kompatibilno sa SiC premazom kako bi se smanjilo toplotno opterećenje.

CVD SIC FILM KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC premaz FILMA KRISTALNA STRUKTURA

Fizička svojstva SiC premaza se uglavnom ogledaju u njegovoj otpornosti na visoke temperature, tvrdoći, otpornosti na koroziju i toplinskoj provodljivosti.

Tipični fizički parametri su obično sljedeći:

Tvrdoća: SiC premaz obično ima tvrdoću po Vickersu u rasponu od 2000-2500 HV, što im daje izuzetno visoku otpornost na habanje i udarce u industrijskim primjenama.

Gustina: SiC premazi obično imaju gustinu od 3,1-3,2 g/cm³. Velika gustina doprinosi mehaničkoj čvrstoći i trajnosti premaza.

Toplotna provodljivost: SiC premazi imaju visoku toplotnu provodljivost, tipično u rasponu od 120-200 W/mK (na 20°C). To mu daje dobru toplotnu provodljivost u okruženjima sa visokim temperaturama i čini ga posebno pogodnim za opremu za termičku obradu u industriji poluprovodnika.

Tačka topljenja: silicijum karbid ima tačku topljenja od približno 2730°C i ima odličnu termičku stabilnost na ekstremnim temperaturama.

Koeficijent toplinske ekspanzije: SiC premazi imaju nizak linearni koeficijent termičke ekspanzije (CTE), obično u rasponu od 4,0-4,5 µm/mK (na 25-1000℃). To znači da je njegova dimenzionalna stabilnost odlična pri velikim temperaturnim razlikama.

Otpornost na koroziju: SiC premazi su izuzetno otporni na koroziju u jakim kiselim, alkalnim i oksidirajućim sredinama, posebno kada se koriste jake kiseline (kao što su HF ili HCl), njihova otpornost na koroziju daleko premašuje otpornost konvencionalnih metalnih materijala.

SiC premazi se mogu nanositi na sljedeće materijale:

Izostatski grafit visoke čistoće (nizak CTE)
Tungsten
molibden
Silicon Carbide
Silicijum nitrid
Ugljik-ugljični kompoziti (CFC)

Proizvodi obloženi SiC-om obično se koriste u sljedećim područjima:

Proizvodnja LED čipova
Proizvodnja polisilicijuma
Semiconductorrast kristala
Silicijum iSiC epitaksija
Termička obrada vafla i jetkanje

Zašto odabrati VET Energy?

VET Energy je vodeći proizvođač, inovator i lider SiC premaznih proizvoda u Kini, a glavni proizvodi SiC premaza uključujunosač pločice sa SiC premazom, SiC presvučenepitaksijalni susceptor, Grafitni prsten obložen SiC, Polumjesečni dijelovi sa SiC premazom, Kompozit ugljenik-ugljik obložen SiC, Oblatni čamac obložen SiC, Grejač obložen SiCitd. VET Energy je posvećen pružanju industrije poluprovodnika vrhunskom tehnologijom i rješenjima proizvoda, te podržava usluge prilagođavanja. Iskreno se radujemo što ćemo biti vaš dugoročni partner u Kini.