Formiranje silicijum dioksida na površini silicijuma naziva se oksidacija, a stvaranje stabilnog i snažno adhezivnog silicijum dioksida dovelo je do rođenja planarne tehnologije silicijum integrisanog kola. Iako postoji mnogo načina da se silicijum dioksid uzgaja direktno na površini silicijuma, to se obično radi termičkom oksidacijom, što znači da se silicijum izlaže oksidacionom okruženju visoke temperature (kiseonik, voda). Metode termičke oksidacije mogu kontrolisati debljinu filma i karakteristike interfejsa silicijum/silicijum dioksid tokom pripreme filmova silicijum dioksida. Druge tehnike za uzgoj silicijum dioksida su plazma anodizacija i mokra anodizacija, ali nijedna od ovih tehnika nije bila široko korištena u VLSI procesima.
Silicijum pokazuje tendenciju stvaranja stabilnog silicijum dioksida. Ako se svježe rascijepljeni silicijum izloži oksidirajućem okruženju (kao što je kisik, voda), formirat će vrlo tanak oksidni sloj (<20Å) čak i na sobnoj temperaturi. Kada je silicijum izložen oksidacionom okruženju na visokoj temperaturi, deblji oksidni sloj će se generisati brže. Osnovni mehanizam stvaranja silicijum dioksida iz silicijuma je dobro shvaćen. Deal i Grove razvili su matematički model koji precizno opisuje dinamiku rasta oksidnih filmova debljih od 300Å. Predložili su da se oksidacija provodi na sljedeći način, odnosno da oksidans (molekule vode i molekule kisika) difundira kroz postojeći oksidni sloj do međupovršine Si/SiO2, gdje oksidans reagira sa silicijumom i nastaje silicijum dioksid. Glavna reakcija za stvaranje silicijum dioksida opisana je kako slijedi:
Reakcija oksidacije se dešava na međupovršini Si/SiO2, tako da kada sloj oksida raste, silicijum se kontinuirano troši i interfejs postepeno napada silicijum. Prema odgovarajućoj gustoći i molekularnoj težini silicijuma i silicijum dioksida, može se utvrditi da je silicij utrošen za debljinu završnog oksidnog sloja 44%. Na ovaj način, ako oksidni sloj naraste 10.000Å, potrošit će se 4400Å silicija. Ovaj odnos je važan za izračunavanje visine stepenica formiranih nasilikonska pločica. Koraci su rezultat različitih stopa oksidacije na različitim mjestima na površini silikonske pločice.
Također isporučujemo proizvode od grafita i silicijum karbida visoke čistoće, koji se široko koriste u obradi pločica kao što su oksidacija, difuzija i žarenje.
Dobrodošli kupcima iz cijelog svijeta da nas posjete radi dalje diskusije!
https://www.vet-china.com/
Vrijeme objave: 13.11.2024