Status istraživanja SiC integrisanog kola

Za razliku od S1C diskretnih uređaja koji traže karakteristike visokog napona, velike snage, visoke frekvencije i visoke temperature, cilj istraživanja SiC integriranog kola je uglavnom dobivanje visokotemperaturnog digitalnog kola za inteligentni upravljački krug IC-a. Kako je SiC integrirani krug za unutrašnje električno polje vrlo nizak, tako da će se utjecaj defekta mikrotubula uvelike smanjiti, ovo je prvi komad monolitnog SiC integriranog operativnog pojačala čipa koji je verificiran, stvarni gotov proizvod i određen prinosom je mnogo veći nego defekti mikrotubula, prema tome, na osnovu modela prinosa SiC i materijala Si i CaAs je očigledno različit. Čip je baziran na NMOSFET tehnologiji iscrpljivanja. Glavni razlog je taj što je efektivna mobilnost nosioca SiC MOSFET-a sa obrnutim kanalom preniska. Da bi se poboljšala površinska pokretljivost Sic-a, potrebno je poboljšati i optimizirati proces termalne oksidacije Sic-a.

Univerzitet Purdue je uradio mnogo na SiC integrisanim kolima. 1992. godine, fabrika je uspešno razvijena na bazi reverznog kanala 6H-SIC NMOSFET monolitnog digitalnog integrisanog kola. Čip sadrži a ne gejt, ili ne kapiju, on ili gejt, binarni brojač i polusabirač kola i može ispravno raditi u temperaturnom rasponu od 25°C do 300°C. Godine 1995. proizveden je prvi SiC ravni MESFET Ics korištenjem tehnologije izolacije ubrizgavanjem vanadijuma. Preciznom kontrolom količine ubrizganog vanadijuma može se dobiti izolacijski SiC.

U digitalnim logičkim kolima, CMOS kola su privlačnija od NMOS kola. U septembru 1996. godine proizvedeno je prvo 6H-SIC CMOS digitalno integrirano kolo. Uređaj koristi ubrizgani N-red i sloj oksida taloženja, ali zbog drugih problema u procesu, napon praga PMOSFET-a čipa je previsok. U martu 1997. kada je proizvedena druga generacija SiC CMOS kola. Usvojena je tehnologija ubrizgavanja P zamke i termalnog rasta oksidnog sloja. Granični napon PMOSEFT-ova dobijen poboljšanjem procesa je oko -4,5V. Sva kola na čipu dobro rade na sobnoj temperaturi do 300°C i napajaju se jednim napajanjem, koje može biti od 5 do 15V.

Sa poboljšanjem kvaliteta pločice podloge, bit će napravljena funkcionalnija integrirana kola većeg prinosa. Međutim, kada se problemi sa materijalom i procesom SiC u osnovi riješe, pouzdanost uređaja i paketa će postati glavni faktor koji utiče na performanse visokotemperaturnih SiC integriranih kola.