Kemijsko taloženje parom (CVD) je važna tehnologija taloženja tankog filma, koja se često koristi za pripremu različitih funkcionalnih filmova i tankoslojnih materijala, i široko se koristi u proizvodnji poluvodiča i drugim poljima. 1. Princip rada CVD-a U CVD procesu, prethodnik gasa (jedan ili...
Pročitajte više