Sa postepenom masovnom proizvodnjom provodljivih SiC podloga, postavljaju se viši zahtjevi za stabilnost i ponovljivost procesa. Konkretno, kontrola defekata, malo prilagođavanje ili pomjeranje toplinskog polja u peći, dovest će do kristalnih promjena ili povećanja defekata. U kasnijem periodu moramo se suočiti sa izazovom „brzog rasta, dugog i debelog i odrastanja“, osim poboljšanja teorije i inženjerstva, potrebni su nam i napredniji materijali za termičko polje kao podrška. Koristite napredne materijale, uzgajajte napredne kristale.
Nepravilna upotreba materijala za lončiće, kao što su grafit, porozni grafit, tantal karbid u prahu, itd. u vrućem polju će dovesti do defekata kao što je povećano uključivanje ugljika. Osim toga, u nekim primjenama, propusnost poroznog grafita nije dovoljna, a potrebne su dodatne rupe za povećanje propusnosti. Porozni grafit visoke propusnosti suočava se sa izazovima obrade, uklanjanja praha, jetkanja i tako dalje.
VET predstavlja novu generaciju materijala termičkog polja koji raste u kristalima SiC, porozni tantal karbid. Svjetski debi.
Čvrstoća i tvrdoća tantal karbida su vrlo visoke, a učiniti ga poroznim je izazov. Izrada poroznog karbida tantala velike poroznosti i visoke čistoće veliki je izazov. Hengpu Technology je lansirala revolucionarni porozni tantal karbid velike poroznosti, sa maksimalnom poroznošću od 75%, vodeći u svijetu.
Može se koristiti filtracija komponenti gasne faze, podešavanje gradijenta lokalne temperature, smjer protoka materijala, kontrola curenja itd. Može se koristiti sa drugim čvrstim premazom od tantal karbida (kompaktnog) ili tantal karbida iz Hengpu Technology za formiranje lokalnih komponenti sa različitom provodljivošću protoka.
Neke komponente se mogu ponovo koristiti.
Vrijeme objave: Jul-14-2023