Tokom procesa epitaksije u parnoj fazi (VPE), uloga postolja je da podupre podlogu i osigura ujednačeno zagrijavanje tokom procesa rasta. Različiti tipovi postolja su pogodni za različite uslove rasta i materijalne sisteme. Sljedeće su neke od najčešće korištenih tipova postolja u parnoj faziepitaksija:
Pijedestal za bačvu
Bačvasta postolja se obično koriste u horizontalnim ili nagnutim sistemima za epitaksiju u parnoj fazi. Oni mogu držati podlogu i pustiti plin da teče preko supstrata, što pomaže u postizanju ravnomjernog epitaksijalnog rasta.
Postolje u obliku diska (okomito postolje)
Postolji u obliku diska su pogodni za vertikalne sisteme epitaksije u parnoj fazi, u kojima se podloga postavlja vertikalno. Ovaj dizajn pomaže u smanjenju kontaktne površine između podloge i prijemnika, čime se smanjuje gubitak topline i potencijalna kontaminacija.
Horizontalni susceptor
Horizontalni prijemnici su manje uobičajeni u epitaksiji u parnoj fazi, ali se mogu koristiti u nekim specifičnim sistemima rasta kako bi omogućili epitaksijalni rast u horizontalnom smjeru.
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor
Monolitni epitaksijalni reakcijski susceptor je dizajniran za jednu podlogu, koja može pružiti precizniju kontrolu temperature i bolju toplinsku izolaciju, pogodnu za rast visokokvalitetnih epitaksijalnih slojeva.
Dobrodošli na našu web stranicu za informacije o proizvodima i konsultacije.
Naša web stranica: https://www.vet-china.com/
Vrijeme objave: Jul-30-2024