Prskajuće metese uglavnom koriste u elektronskoj i informatičkoj industriji, kao što su integrisana kola, skladištenje informacija, displeji sa tečnim kristalima, laserske memorije, elektronski kontrolni uređaji, itd. materijali, otpornost na koroziju pri visokim temperaturama, vrhunski dekorativni proizvodi i druge industrije.
Raspršivanje je jedna od glavnih tehnika za pripremu tankoslojnih materijala.Koristi ione koje generiraju izvori jona da ubrzaju i agregiraju u vakuumu da formiraju snopove energije velike brzine, bombardiraju čvrstu površinu i razmjenjuju kinetičku energiju između jona i atoma čvrste površine. Atomi na površini čvrstog materijala napuštaju čvrstu supstancu i talože se na površini supstrata. Bombardirana čvrsta materija je sirovina za taloženje tankih filmova raspršivanjem, što se naziva meta za raspršivanje. Različite vrste raspršenih tankoslojnih materijala naširoko su korištene u poluvodičkim integriranim kolima, medijima za snimanje, ravnim ekranima i površinskim premazima radnog komada.
Među svim industrijama primjene, industrija poluvodiča ima najstrože zahtjeve kvaliteta za filmove za raspršivanje cilja. Metalne mete visoke čistoće se uglavnom koriste u proizvodnji pločica i naprednim procesima pakiranja. Uzimajući za primjer proizvodnju čipova, možemo vidjeti da od silikonske pločice do čipa treba proći kroz 7 glavnih proizvodnih procesa, a to su difuzija (termički proces), foto-litografija (fotolitografija), jetkanje (etch), Ionska implantacija (IonImplant), rast tankog filma (dielektrično taloženje), hemijsko mehaničko poliranje (CMP), metalizacija (Metalizacija) Procesi odgovaraju jedan po jedan. Meta za raspršivanje se koristi u procesu „metalizacije“. Meta se bombarduje visokoenergetskim česticama pomoću opreme za taloženje tankog filma, a zatim se na silikonskoj pločici formira metalni sloj sa specifičnim funkcijama, kao što je provodni sloj, sloj barijere. Čekajte. Pošto su procesi čitavih poluprovodnika različiti onda su potrebne neke povremene situacije da bi se provjerilo da li sistem ispravno postoji pa zahtijevamo neke vrste lažnih materijala u određenim fazama proizvodnje da potvrdimo efekte.
Vrijeme objave: Jan-17-2022