Monokristalna silikonska pločica od 8 inča iz VET Energy je vodeće rješenje u industriji za proizvodnju poluvodiča i elektronskih uređaja. Nudeći vrhunsku čistoću i kristalnu strukturu, ove pločice su idealne za primjenu visokih performansi u fotonaponskoj i poluvodičkoj industriji. VET Energy osigurava da je svaka pločica pedantno obrađena kako bi se ispunili najviši standardi, pružajući odličnu uniformnost i glatku završnu obradu, koji su neophodni za proizvodnju naprednih elektronskih uređaja.
Ove monokristalne silikonske pločice od 8 inča kompatibilne su s nizom materijala, uključujući Si Wafer, SiC supstrat, SOI Wafer, SiN supstrat, i posebno su pogodne za rast Epi Wafer. Njihova superiorna toplotna provodljivost i električna svojstva čine ih pouzdanim izborom za visokoefikasnu proizvodnju. Osim toga, ove pločice su dizajnirane da rade bez problema s materijalima kao što su Galijev oksid Ga2O3 i AlN Wafer, nudeći širok spektar primjena od energetske elektronike do RF uređaja. Oblatne se takođe savršeno uklapaju u sisteme kaseta za automatizovana proizvodna okruženja velikog obima.
Linija proizvoda VET Energy nije ograničena na silikonske pločice. Takođe nudimo širok spektar materijala za poluprovodničke podloge, uključujući SiC supstrat, SOI podlogu, SiN supstrat, Epi podlogu, itd., kao i nove poluprovodničke materijale sa širokim razmakom kao što su Galijev oksid Ga2O3 i AlN Vafer. Ovi proizvodi mogu zadovoljiti potrebe različitih kupaca u energetskoj elektronici, radio frekvencijama, senzorima i drugim poljima.
VET Energy kupcima pruža prilagođena rješenja za pločice. Možemo prilagoditi oblatne različite otpornosti, sadržaja kisika, debljine itd. prema specifičnim potrebama kupaca. Osim toga, pružamo i profesionalnu tehničku podršku i postprodajne usluge kako bismo pomogli kupcima da riješe različite probleme na koje se susreću tokom proizvodnog procesa.
SPECIFIKACIJE VAFIRANJA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Apsolutna vrijednost | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
ZAVRŠNA POVRŠINA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Završna obrada | Dvostrani optički lak, Si-Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Ništa nije dozvoljeno (dužina i širina≥0,5 mm) | ||||
Uvlake | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Ogrebotine (Si-Face) | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | ||
Pukotine | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Edge Exclusion | 3mm |