Grafitni susceptor obložen silicijum karbidom za LED jetkanje

Kratak opis:

Susceptor od silicijum karbida za LED jetkanje (SiC tray) je poseban dodatak za duboko silikonsko jetkanje (ICP mašina za jetkanje). nosač vafla, poznat i kao nosač vafla, nosač silicijumske pločice, poznat i kao džepna pločica. Široko se koristi u poluprovodničkom CVD-u i vakuumskom raspršivanju.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Susceptor obložen silicijum karbidom jea ključkomponenta koja se koristi u različitim proizvodnim procesima poluvodiča.Koristimo našu patentiranu tehnologiju za izradu suceptora obloženog silicijum karbidomizuzetno visoke čistoće,dobropremazivanjeuniformnosti odličan vijek trajanja, kao ivisoka hemijska otpornost i svojstva termičke stabilnosti.

VET Energy je thepravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa CVD premazom,može snabdjetirazneprilagođeni dijelovi za poluvodičku i fotonaponsku industriju. OVaš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može pružiti profesionalnija materijalna rješenjaza tebe.

Kontinuirano razvijamo napredne procese za pružanje naprednijih materijala,irazvili su ekskluzivnu patentiranu tehnologiju, koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Fjelo naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju pri visokim temperaturama do 1700.
2. Visoka čistoća itermička uniformnost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

CVD SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje

性质 / Nekretnina

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustina

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度 (500g opterećenje)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Hemijska čistoća

99,99995%

热容 / Toplotni kapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje

415 MPa RT 4 tačke

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4pt krivina, 1300 ℃

导热系数 / ThermalProvodljivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / termička ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prethodno:
  • sljedeće:

  • WhatsApp Online ćaskanje!