VET EnergyPECVD procesni grafitni nosač je visokokvalitetni potrošni materijal skrojen za PECVD (plazma poboljšano hemijsko taloženje pare) proces. Ovaj grafitni nosač je napravljen od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustine, sa odličnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, stabilnošću dimenzija i drugim karakteristikama, može pružiti stabilnu platformu za PECVD proces, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnost tankog filma taloženje.
Grafitni nosači za PECVD proces imaju sljedeće karakteristike:
▪ Visoka čistoća: izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavajući kontaminaciju filma i osiguravajući kvalitet filma.
▪ Visoka gustina: visoka gustina, visoka mehanička čvrstoća, sposobna da izdrži visoku temperaturu i PECVD okruženje visokog pritiska.
▪ Dobra stabilnost dimenzija: mala promjena dimenzija na visokoj temperaturi, osiguravajući stabilnost procesa.
▪ Odlična toplotna provodljivost: efikasno prenosi toplotu kako bi se sprečilo pregrevanje pločice.
▪ Snažna otpornost na koroziju: može se oduprijeti eroziji raznim korozivnim plinovima i plazmom.
▪ Prilagođena usluga: grafitni nosači različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.
Grafitni materijal iz SGL:
Tipični parametar: R6510 | |||
Indeks | Test standard | Vrijednost | Jedinica |
Prosječna veličina zrna | ISO 13320 | 10 | μm |
Nasipna gustina | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Otvorena poroznost | DIN66133 | 10 | % |
Srednje veličine pora | DIN66133 | 1.8 | μm |
Propustljivost | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Specifična električna otpornost | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Čvrstoća na savijanje | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Čvrstoća na pritisak | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngov modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Toplotna ekspanzija (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Toplotna provodljivost (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu pločica velikih veličina G12. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.
Stavka | Tip | Nosač pločice broja |
PEVCD Grephite brod - serija 156 | 156-13 grephite brod | 144 |
156-19 grephite brod | 216 | |
156-21 grephite brod | 240 | |
156-23 grafitni čamac | 308 | |
PEVCD Grephite brod - serija 125 | 125-15 grephite brod | 196 |
125-19 grephite brod | 252 | |
125-21 grphite brod | 280 |