6-inčna poluizolaciona SiC ploča od VET Energy je napredno rješenje za aplikacije velike snage i visoke frekvencije, nudeći vrhunsku toplinsku provodljivost i električnu izolaciju. Ove poluizolacione pločice su neophodne u razvoju uređaja kao što su RF pojačala, prekidači za napajanje i druge komponente visokog napona. VET Energy osigurava dosljedan kvalitet i performanse, što ove pločice čini idealnim za širok spektar procesa proizvodnje poluvodiča.
Osim svojih izvanrednih izolacijskih svojstava, ove SiC pločice su kompatibilne sa različitim materijalima uključujući Si Wafer, SiC supstrat, SOI Wafer, SiN supstrat i Epi Wafer, što ih čini raznovrsnim za različite vrste proizvodnih procesa. Štaviše, napredni materijali kao što su Galijev oksid Ga2O3 i AlN Vafer mogu se koristiti u kombinaciji sa ovim SiC pločicama, pružajući još veću fleksibilnost u elektronskim uređajima velike snage. Oblatne su dizajnirane za besprijekornu integraciju sa industrijskim standardnim sistemima za rukovanje kao što su kasetni sistemi, osiguravajući jednostavnu upotrebu u postavkama masovne proizvodnje.
VET Energy nudi sveobuhvatan portfelj poluvodičkih supstrata, uključujući Si Wafer, SiC supstrat, SOI Wafer, SiN supstrat, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3 i AlN Wafer. Naša raznolika linija proizvoda zadovoljava potrebe različitih elektronskih aplikacija, od energetske elektronike do RF i optoelektronike.
Poluizolaciona SiC pločica od 6 inča nudi nekoliko prednosti:
Visok probojni napon: Široki pojas SiC-a omogućava veće napone proboja, omogućavajući kompaktnije i efikasnije uređaje za napajanje.
Rad na visokim temperaturama: odlična toplotna provodljivost SiC-a omogućava rad na višim temperaturama, poboljšavajući pouzdanost uređaja.
Nizak otpor: SiC uređaji pokazuju niži otpor na uključenje, smanjujući gubitke energije i poboljšavajući energetsku efikasnost.
VET Energy nudi prilagodljive SiC pločice kako bi zadovoljile vaše specifične zahtjeve, uključujući različite debljine, nivoe dopinga i završne obrade površine. Naš stručni tim pruža tehničku podršku i postprodajne usluge kako bi osigurao vaš uspjeh.
SPECIFIKACIJE VAFIRANJA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Apsolutna vrijednost | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
ZAVRŠNA POVRŠINA
*n-Pm=n-tip Pm-grade,n-Ps=n-tip Ps-grade,Sl=Poluizolacioni
Stavka | 8-inčni | 6-inčni | 4-inčni | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Završna obrada | Dvostrani optički lak, Si-Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Ništa nije dozvoljeno (dužina i širina≥0,5 mm) | ||||
Uvlake | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Ogrebotine (Si-Face) | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | Količina≤5, Kumulativno | ||
Pukotine | Ništa nije dozvoljeno | ||||
Edge Exclusion | 3mm |