সিলিকন কার্বাইড সিরামিক লেপ হিটার

ভেট-চীনসিলিকন কার্বাইড সিরামিকলেপ অত্যন্ত শক্ত এবং পরিধান-প্রতিরোধী তৈরি একটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা প্রতিরক্ষামূলক আবরণসিলিকন কার্বাইড (SiC)উপাদান, যা চমৎকার রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের এবং উচ্চ-তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা প্রদান করে। এই বৈশিষ্ট্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, তাইসিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণসেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামের মূল উপাদানগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

Vet-চীনের নির্দিষ্ট ভূমিকাসিলিকন কার্বাইড সিরামিকসেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে আবরণ নিম্নরূপ:

সরঞ্জামের স্থায়িত্ব উন্নত করুন:সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণ তার অত্যন্ত উচ্চ কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের সঙ্গে অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরঞ্জামের জন্য চমৎকার পৃষ্ঠ সুরক্ষা প্রদান করে। বিশেষ করে উচ্চ-তাপমাত্রা এবং অত্যন্ত ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া পরিবেশে, যেমন রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) এবং প্লাজমা এচিং, আবরণ কার্যকরভাবে সরঞ্জামের পৃষ্ঠকে রাসায়নিক ক্ষয় বা শারীরিক পরিধান দ্বারা ক্ষতিগ্রস্ত হওয়া থেকে প্রতিরোধ করতে পারে, যার ফলে উল্লেখযোগ্যভাবে পরিষেবা জীবন বৃদ্ধি পায়। সরঞ্জাম এবং ঘন ঘন প্রতিস্থাপন এবং মেরামতের কারণে ডাউনটাইম হ্রাস করা।

প্রক্রিয়া বিশুদ্ধতা উন্নত করুন:সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ায়, ক্ষুদ্র দূষণ পণ্যের ত্রুটির কারণ হতে পারে। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা এটিকে চরম পরিস্থিতিতে স্থিতিশীল থাকতে দেয়, উপাদানটিকে কণা বা অমেধ্য মুক্ত করতে বাধা দেয়, যার ফলে প্রক্রিয়াটির পরিবেশগত বিশুদ্ধতা নিশ্চিত হয়। এটি বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ উত্পাদন পদক্ষেপগুলির জন্য যা উচ্চ নির্ভুলতা এবং উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজন, যেমন PECVD এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন।

তাপ ব্যবস্থাপনা অপ্টিমাইজ করুন:উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে, যেমন দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP) এবং অক্সিডেশন প্রক্রিয়া, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা সরঞ্জামের ভিতরে অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন সক্ষম করে। এটি তাপমাত্রার ওঠানামার কারণে তাপীয় চাপ এবং উপাদানের বিকৃতি কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে পণ্য উত্পাদন নির্ভুলতা এবং সামঞ্জস্য উন্নত হয়।

জটিল প্রক্রিয়া পরিবেশ সমর্থন করুন:আইসিপি এচিং এবং পিএসএস এচিং প্রক্রিয়ার মতো জটিল বায়ুমণ্ডল নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন হয় এমন প্রক্রিয়াগুলিতে, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক আবরণের স্থিতিশীলতা এবং অক্সিডেশন প্রতিরোধ নিশ্চিত করে যে সরঞ্জামগুলি দীর্ঘমেয়াদী অপারেশনে স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা বজায় রাখে, উপাদানের অবক্ষয় বা সরঞ্জামের ক্ষতির ঝুঁকি হ্রাস করে। পরিবেশগত পরিবর্তনের জন্য।