SiC আবরণ গ্রাফাইট MOCVD ওয়েফার ক্যারিয়ার, জন্য গ্রাফাইট সাসেপ্টরSiC এপিটাক্সি,
কার্বন সরবরাহ susceptors, গ্রাফাইট এপিটাক্সি সাসেপ্টর, গ্রাফাইট সাপোর্ট সাবস্ট্রেট, MOCVD সাসেপ্টর, SiC এপিটাক্সি, ওয়েফার সাসেপ্টর,
আমাদের SiC-কোটেড গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলির বিশেষ সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা, সমজাতীয় আবরণ এবং একটি দুর্দান্ত পরিষেবা জীবন। তারা উচ্চ রাসায়নিক প্রতিরোধের এবং তাপ স্থিতিশীলতা বৈশিষ্ট্য আছে.
সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের SiC আবরণ উচ্চতর বিশুদ্ধতা এবং অক্সিডাইজিং বায়ুমণ্ডলের প্রতিরোধের সাথে একটি অংশ তৈরি করে।
CVD SiC বা CVI SiC সহজ বা জটিল ডিজাইনের অংশগুলির গ্রাফাইটে প্রয়োগ করা হয়। আবরণ বিভিন্ন বেধে এবং খুব বড় অংশে প্রয়োগ করা যেতে পারে।
বৈশিষ্ট্য:
· চমৎকার তাপ শক প্রতিরোধের
· চমৎকার শারীরিক শক প্রতিরোধের
· চমৎকার রাসায়নিক প্রতিরোধের
· সুপার উচ্চ বিশুদ্ধতা
· জটিল আকারে উপলব্ধতা
· অক্সিডাইজিং বায়ুমণ্ডলের অধীনে ব্যবহারযোগ্য
আবেদন:
বেস গ্রাফাইট উপাদানের সাধারণ বৈশিষ্ট্য:
আপাত ঘনত্ব: | 1.85 গ্রাম/সেমি3 |
বৈদ্যুতিক প্রতিরোধ ক্ষমতা: | 11 μΩm |
নমনীয় শক্তি: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
তীরের কঠোরতা: | 58 |
ছাই: | <5 পিপিএম |
তাপ পরিবাহিতা: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
কার্বন সরবরাহ susceptorsএবং সমস্ত বর্তমান এপিটাক্সি চুল্লির জন্য গ্রাফাইট উপাদান। আমাদের পোর্টফোলিওতে প্রয়োগকৃত এবং এলপিই ইউনিটের জন্য ব্যারেল সাসেপ্টর, এলপিই, সিএসডি এবং জেমিনি ইউনিটের জন্য প্যানকেক সাসেপ্টর এবং প্রয়োগকৃত এবং এএসএম ইউনিটের জন্য একক-ওয়েফার সাসেপ্টর অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। নেতৃস্থানীয় OEMগুলির সাথে শক্তিশালী অংশীদারিত্বের সংমিশ্রণ, উপকরণ দক্ষতা এবং উত্পাদন জ্ঞান, SGL আপনার অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সর্বোত্তম নকশা অফার করে।