VET Energy PECVD প্রক্রিয়া গ্রাফাইট ওয়েফার সাপোর্ট হল PECVD (প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা) প্রক্রিয়ার জন্য পরিকল্পিত একটি মূল ব্যবহারযোগ্য। এই পণ্যটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা, উচ্চ-ঘনত্বের গ্রাফাইট উপাদান দিয়ে তৈরি, চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের, মাত্রিক স্থিতিশীলতা এবং অন্যান্য বৈশিষ্ট্য সহ, ফিল্ম জমার অভিন্নতা এবং সমতলতা নিশ্চিত করতে PECVD প্রক্রিয়ার জন্য একটি স্থিতিশীল সমর্থন প্ল্যাটফর্ম প্রদান করতে পারে।
VET এনার্জি গ্রাফাইট ওয়েফার সাপোর্টের "গ্রাফাইট সাপোর্ট" ডিজাইন শুধুমাত্র ওয়েফারটিকে কার্যকরভাবে সমর্থন করতে পারে না, তবে প্রক্রিয়াটির স্থায়িত্ব নিশ্চিত করতে উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপ PECVD পরিবেশে তাপীয় স্থিতিশীলতাও প্রদান করে।
VET শক্তি PECVD প্রক্রিয়া গ্রাফাইট ওয়েফার সমর্থন নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য আছে:
▪উচ্চ বিশুদ্ধতা:অত্যন্ত কম অপরিষ্কার বিষয়বস্তু, ফিল্মের গুণমান নিশ্চিত করতে ফিল্মের দূষণ এড়ান।
▪উচ্চ ঘনত্ব:উচ্চ ঘনত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপ PECVD পরিবেশ সহ্য করতে পারে।
▪ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতা:প্রক্রিয়াটির স্থায়িত্ব নিশ্চিত করতে উচ্চ তাপমাত্রায় ছোট মাত্রিক পরিবর্তন।
▪চমৎকার তাপ পরিবাহিতা:ওয়েফার ওভারহিটিং প্রতিরোধ করতে কার্যকরভাবে তাপ স্থানান্তর করুন।
▪শক্তিশালী জারা প্রতিরোধের:বিভিন্ন ক্ষয়কারী গ্যাস এবং প্লাজমা দ্বারা ক্ষয় প্রতিরোধ করতে সক্ষম।
▪কাস্টমাইজড পরিষেবা:বিভিন্ন আকার এবং আকারের গ্রাফাইট সমর্থন টেবিল গ্রাহকের প্রয়োজন অনুযায়ী কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।
SGL থেকে গ্রাফাইট উপাদান:
| সাধারণ প্যারামিটার: R6510 | |||
| সূচক | পরীক্ষার মান | মান | ইউনিট |
| গড় শস্য আকার | ISO 13320 | 10 | μm |
| বাল্ক ঘনত্ব | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| খোলা ছিদ্র | DIN66133 | 10 | % |
| মাঝারি ছিদ্র আকার | DIN66133 | 1.8 | μm |
| ব্যাপ্তিযোগ্যতা | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| রকওয়েল কঠোরতা HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| নির্দিষ্ট বৈদ্যুতিক প্রতিরোধ ক্ষমতা | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| নমনীয় শক্তি | DIN IEC 60413/501 | 60 | এমপিএ |
| কম্প্রেসিভ শক্তি | DIN 51910 | 130 | এমপিএ |
| ইয়ং এর মডুলাস | DIN 51915 | 11.5×10³ | এমপিএ |
| তাপ সম্প্রসারণ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| তাপ পরিবাহিতা (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
এটি বিশেষভাবে উচ্চ-দক্ষ সৌর কোষ উত্পাদনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, G12 বড় আকারের ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণকে সমর্থন করে। অপ্টিমাইজ করা ক্যারিয়ার ডিজাইন উল্লেখযোগ্যভাবে থ্রুপুট বাড়ায়, উচ্চ ফলনের হার এবং কম উৎপাদন খরচ সক্ষম করে।
| আইটেম | টাইপ | নম্বর ওয়েফার ক্যারিয়ার |
| PEVCD গ্রেফাইট নৌকা - 156 সিরিজ | 156-13 গ্রেফাইট নৌকা | 144 |
| 156-19 গ্রেফাইট নৌকা | 216 | |
| 156-21 গ্রেফাইট নৌকা | 240 | |
| 156-23 গ্রাফাইট নৌকা | 308 | |
| PEVCD গ্রেফাইট নৌকা - 125 সিরিজ | 125-15 গ্রেফাইট নৌকা | 196 |
| 125-19 গ্রেফাইট নৌকা | 252 | |
| 125-21 গ্রাফাইট নৌকা | 280 |
