শুষ্ক খোদাই করার সময় সাইডওয়াল কেন বাঁকে?

আয়ন বোমাবাজির অ-অভিন্নতা

শুষ্কএচিংসাধারণত একটি প্রক্রিয়া যা ভৌত এবং রাসায়নিক প্রভাবকে একত্রিত করে, যেখানে আয়ন বোমাবাজি একটি গুরুত্বপূর্ণ শারীরিক এচিং পদ্ধতি। সময়এচিং প্রক্রিয়া, ঘটনা কোণ এবং আয়নগুলির শক্তি বন্টন অসম হতে পারে।

সাইডওয়ালের বিভিন্ন অবস্থানে আয়ন ঘটনা কোণ ভিন্ন হলে, সাইডওয়ালে আয়নগুলির এচিং প্রভাবও ভিন্ন হবে। বৃহত্তর আয়ন আপতিত কোণযুক্ত অঞ্চলে, সাইডওয়ালের উপর আয়নগুলির এচিং প্রভাব শক্তিশালী হয়, যার ফলে এই এলাকার সাইডওয়াল আরও খোদাই করা হবে, যার ফলে সাইডওয়াল বাঁকবে। এছাড়াও, আয়ন শক্তির অসম বন্টনও একই রকম প্রভাব তৈরি করবে। উচ্চ শক্তি সহ আয়নগুলি আরও কার্যকরভাবে উপাদানগুলিকে অপসারণ করতে পারে, যার ফলে অসামঞ্জস্যপূর্ণ হয়এচিংবিভিন্ন অবস্থানে সাইডওয়ালের ডিগ্রী, যার ফলে সাইডওয়াল বাঁকানো হয়।

ফটোরেসিস্টের প্রভাব

ফটোরেসিস্ট শুষ্ক খোঁচায় একটি মুখোশের ভূমিকা পালন করে, এমন জায়গাগুলিকে রক্ষা করে যেগুলি খোদাই করার প্রয়োজন নেই। যাইহোক, ফোটোরেসিস্ট এচিং প্রক্রিয়ার সময় প্লাজমা বোমাবাজি এবং রাসায়নিক বিক্রিয়া দ্বারা প্রভাবিত হয় এবং এর কার্যকারিতা পরিবর্তিত হতে পারে।

যদি ফটোরেসিস্টের বেধ অসম হয়, এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন খরচের হার অসামঞ্জস্যপূর্ণ হয়, বা ফটোরেসিস্ট এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য বিভিন্ন স্থানে ভিন্ন হয়, তাহলে এটি এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন পার্শ্বওয়ালগুলির অসম সুরক্ষার দিকে পরিচালিত করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, পাতলা ফটোরেসিস্ট বা দুর্বল আনুগত্যযুক্ত অঞ্চলগুলি অন্তর্নিহিত উপাদানটিকে আরও সহজে খোদাই করতে পারে, যার ফলে এই অবস্থানগুলিতে পার্শ্বওয়ালগুলি বাঁকতে পারে।

সাবস্ট্রেট উপাদান বৈশিষ্ট্য মধ্যে পার্থক্য

খোদাই করা সাবস্ট্রেট উপাদানেরই বিভিন্ন বৈশিষ্ট্য থাকতে পারে, যেমন বিভিন্ন অঞ্চলে বিভিন্ন স্ফটিক অভিযোজন এবং ডোপিং ঘনত্ব। এই পার্থক্যগুলি এচিং হার এবং এচিং নির্বাচনকে প্রভাবিত করবে।
উদাহরণস্বরূপ, স্ফটিক সিলিকনে, বিভিন্ন স্ফটিক অভিমুখে সিলিকন পরমাণুর বিন্যাস ভিন্ন, এবং এচিং গ্যাসের সাথে তাদের বিক্রিয়া এবং এচিং হারও ভিন্ন হবে। এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, উপাদানগত বৈশিষ্ট্যের পার্থক্যের কারণে সৃষ্ট বিভিন্ন এচিং হার বিভিন্ন স্থানে সাইডওয়ালের এচিং গভীরতাকে অসামঞ্জস্যপূর্ণ করে তুলবে, যা শেষ পর্যন্ত সাইডওয়াল বাঁকানোর দিকে পরিচালিত করবে।

সরঞ্জাম-সম্পর্কিত কারণ

এচিং ইকুইপমেন্টের পারফরম্যান্স এবং স্ট্যাটাসও এচিং ফলাফলের উপর গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে। উদাহরণস্বরূপ, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে অসম প্লাজমা বিতরণ এবং অসম ইলেক্ট্রোড পরিধানের মতো সমস্যাগুলি এচিংয়ের সময় ওয়েফার পৃষ্ঠে আয়ন ঘনত্ব এবং শক্তির মতো পরামিতিগুলির অসম বন্টন হতে পারে।

উপরন্তু, সরঞ্জামের অসম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং গ্যাস প্রবাহে সামান্য ওঠানামাও এচিং এর অভিন্নতাকে প্রভাবিত করতে পারে, যার ফলে সাইডওয়াল বাঁকানো হয়।