CMP এর প্ল্যানারাইজেশন মেকানিজম কি?

ডুয়াল-ডামাসিন হল একটি প্রক্রিয়া প্রযুক্তি যা ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটে ধাতু আন্তঃসংযোগ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়। এটি দামেস্ক প্রক্রিয়ার আরও উন্নয়ন। একই প্রক্রিয়ার ধাপে একই সময়ে গর্ত এবং খাঁজ তৈরি করে এবং ধাতু দিয়ে ভরাট করে, ধাতব আন্তঃসংযোগগুলির সমন্বিত উত্পাদন উপলব্ধি করা হয়।

সিএমপি (1)

 

দামেস্ক বলা হয় কেন?


দামেস্ক শহর সিরিয়ার রাজধানী এবং দামেস্কের তরবারিগুলি তাদের তীক্ষ্ণতা এবং চমৎকার গঠনের জন্য বিখ্যাত। এক ধরনের ইনলে প্রক্রিয়া প্রয়োজন: প্রথমে, প্রয়োজনীয় প্যাটার্নটি দামেস্ক স্টিলের পৃষ্ঠে খোদাই করা হয় এবং পূর্ব-প্রস্তুত উপকরণগুলি খোদাই করা খাঁজে শক্তভাবে জড়ানো হয়। ইনলে সম্পূর্ণ হওয়ার পরে, পৃষ্ঠটি একটু অসম হতে পারে। সামগ্রিক মসৃণতা নিশ্চিত করতে কারিগর সাবধানে এটি পালিশ করবে। এবং এই প্রক্রিয়াটি চিপের দ্বৈত দামেস্ক প্রক্রিয়ার প্রোটোটাইপ। প্রথমে, খাঁজ বা গর্তগুলি অস্তরক স্তরে খোদাই করা হয় এবং তারপরে সেগুলিতে ধাতু ভরা হয়। ভরাট করার পরে, অতিরিক্ত ধাতু সিএমপি দ্বারা সরানো হবে।

 সিএমপি (1)

 

ডুয়াল ডামাসেসিন প্রক্রিয়ার প্রধান ধাপগুলির মধ্যে রয়েছে:

 

▪ অস্তরক স্তর জমা:


অর্ধপরিবাহীতে সিলিকন ডাই অক্সাইড (SiO2) এর মতো অস্তরক পদার্থের একটি স্তর জমা করুনওয়েফার.

 

▪ প্যাটার্ন সংজ্ঞায়িত করতে ফটোলিথোগ্রাফি:


ডাইইলেকট্রিক স্তরের ভিয়াস এবং ট্রেঞ্চের প্যাটার্ন নির্ধারণ করতে ফটোলিথোগ্রাফি ব্যবহার করুন।

 

এচিং:


একটি শুকনো বা ভেজা এচিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ডাইইলেকট্রিক স্তরে ভিয়াস এবং ট্রেঞ্চের প্যাটার্ন স্থানান্তর করুন।

 

▪ ধাতু জমা:


তামা (Cu) বা অ্যালুমিনিয়াম (Al) এর মতো ধাতু জমা করুন, যাতে ধাতু আন্তঃসংযোগ তৈরি করে।

 

▪ রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং:


ধাতু পৃষ্ঠের রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং অতিরিক্ত ধাতু অপসারণ এবং পৃষ্ঠ সমতল.

 

 

ঐতিহ্যগত ধাতু আন্তঃসংযোগ উত্পাদন প্রক্রিয়ার সাথে তুলনা করে, ডুয়াল ডামাসেসিন প্রক্রিয়ার নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:

▪সরলীকৃত প্রক্রিয়া পদক্ষেপ:একই প্রক্রিয়ার ধাপে একই সাথে ভিয়াস এবং ট্রেঞ্চ গঠন করে, প্রক্রিয়ার ধাপ এবং উত্পাদন সময় হ্রাস করা হয়।

▪উন্নত উত্পাদন দক্ষতা:প্রক্রিয়ার ধাপগুলি হ্রাস করার কারণে, ডুয়াল ডামাসেসিন প্রক্রিয়াটি উত্পাদন দক্ষতা উন্নত করতে পারে এবং উত্পাদন খরচ কমাতে পারে।

▪ধাতু আন্তঃসংযোগের কর্মক্ষমতা উন্নত করুন:দ্বৈত ডামাসেন প্রক্রিয়া সংকীর্ণ ধাতব আন্তঃসংযোগ অর্জন করতে পারে, যার ফলে সার্কিটগুলির একীকরণ এবং কর্মক্ষমতা উন্নত হয়।

▪পরজীবী ক্যাপাসিট্যান্স এবং প্রতিরোধ ক্ষমতা হ্রাস করুন:লো-কে ডাইইলেক্ট্রিক উপকরণ ব্যবহার করে এবং ধাতব আন্তঃসংযোগের কাঠামোকে অনুকূল করে, পরজীবী ক্যাপাসিট্যান্স এবং প্রতিরোধকে হ্রাস করা যেতে পারে, সার্কিটের গতি এবং শক্তি খরচ কর্মক্ষমতা উন্নত করে।


পোস্টের সময়: নভেম্বর-25-2024
হোয়াটসঅ্যাপ অনলাইন চ্যাট!