রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) একটি সিলিকনের পৃষ্ঠে একটি কঠিন ফিল্ম জমা করার প্রক্রিয়া বোঝায়ওয়েফারএকটি গ্যাস মিশ্রণের রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে। বিভিন্ন প্রতিক্রিয়া অবস্থার (চাপ, অগ্রদূত) অনুযায়ী, এটি বিভিন্ন সরঞ্জাম মডেলে বিভক্ত করা যেতে পারে।
এই দুটি ডিভাইস কি প্রক্রিয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়?
পিইসিভিডি(প্লাজমা বর্ধিত) সরঞ্জাম হল সবচেয়ে বেশি এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত, OX, নাইট্রাইড, ধাতব গেট, নিরাকার কার্বন ইত্যাদিতে ব্যবহৃত হয়; এলপিসিভিডি (লো পাওয়ার) সাধারণত নাইট্রাইড, পলি, টিইওএস-এ ব্যবহৃত হয়।
নীতি কি?
PECVD- একটি প্রক্রিয়া যা প্লাজমা শক্তি এবং সিভিডিকে পুরোপুরি একত্রিত করে। PECVD প্রযুক্তি কম চাপে প্রক্রিয়া চেম্বারের ক্যাথোডে (অর্থাৎ, নমুনা ট্রে) গ্লো স্রাব প্ররোচিত করতে কম-তাপমাত্রার প্লাজমা ব্যবহার করে। এই গ্লো ডিসচার্জ বা অন্যান্য গরম করার যন্ত্র নমুনার তাপমাত্রাকে পূর্বনির্ধারিত স্তরে বাড়াতে পারে এবং তারপরে প্রক্রিয়া গ্যাসের নিয়ন্ত্রিত পরিমাণ প্রবর্তন করতে পারে। এই গ্যাসটি রাসায়নিক এবং প্লাজমা বিক্রিয়ার একটি সিরিজের মধ্য দিয়ে যায় এবং অবশেষে নমুনার পৃষ্ঠে একটি কঠিন ফিল্ম গঠন করে।
LPCVD - নিম্ন-চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা (LPCVD) চুল্লিতে বিক্রিয়া গ্যাসের অপারেটিং চাপকে প্রায় 133Pa বা তার কম করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
প্রত্যেকের বৈশিষ্ট্য কি?
PECVD - একটি প্রক্রিয়া যা পুরোপুরি প্লাজমা শক্তি এবং CVD একত্রিত করে: 1) নিম্ন-তাপমাত্রা অপারেশন (উপকরণের উচ্চ তাপমাত্রার ক্ষতি এড়ানো); 2) দ্রুত ফিল্ম বৃদ্ধি; 3) উপকরণ সম্পর্কে বাছাই করা হয় না, OX, নাইট্রাইড, ধাতব গেট, নিরাকার কার্বন সব বৃদ্ধি পেতে পারে; 4) একটি ইন-সিটু মনিটরিং সিস্টেম রয়েছে, যা আয়ন প্যারামিটার, গ্যাস প্রবাহের হার, তাপমাত্রা এবং ফিল্মের বেধের মাধ্যমে রেসিপি সামঞ্জস্য করতে পারে।
LPCVD - LPCVD দ্বারা জমা করা পাতলা ফিল্মগুলিতে আরও ভাল স্টেপ কভারেজ, ভাল রচনা এবং কাঠামো নিয়ন্ত্রণ, উচ্চ জমার হার এবং আউটপুট থাকবে। উপরন্তু, LPCVD-এর ক্যারিয়ার গ্যাসের প্রয়োজন হয় না, তাই এটি কণা দূষণের উৎসকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করে এবং পাতলা ফিল্ম জমার জন্য উচ্চ মূল্য সংযোজন অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আরও আলোচনার জন্য আমাদের দেখার জন্য সারা বিশ্ব থেকে যেকোনো গ্রাহককে স্বাগতম!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
পোস্টের সময়: জুলাই-২৪-২০২৪