সিলিকন কার্বাইডসিলিকন এবং কার্বন ধারণকারী একটি কঠিন যৌগ, এবং অত্যন্ত বিরল খনিজ ময়সানাইট হিসাবে প্রকৃতিতে পাওয়া যায়। সিলিকন কার্বাইড কণাগুলিকে সিন্টারিং করে একত্রে আবদ্ধ করে খুব শক্ত সিরামিক তৈরি করা যায়, যা উচ্চ স্থায়িত্বের প্রয়োজনে বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর শোভাযাত্রায় ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
SiC এর শারীরিক গঠন
SiC আবরণ কি?
SiC আবরণ হল একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড আবরণ যা উচ্চ জারা এবং তাপ প্রতিরোধক এবং চমৎকার তাপ পরিবাহিতা। এই উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC আবরণটি প্রাথমিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ওয়েফার ক্যারিয়ার, বেস এবং গরম করার উপাদানগুলিকে ক্ষয়কারী এবং প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশ থেকে রক্ষা করতে ব্যবহৃত হয়। SiC আবরণ উচ্চ ভ্যাকুয়াম, প্রতিক্রিয়াশীল এবং অক্সিজেন পরিবেশে ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এবং নমুনা গরম করার জন্যও উপযুক্ত।
উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC আবরণ পৃষ্ঠ
SiC আবরণ প্রক্রিয়া কি?
সিলিকন কার্বাইডের একটি পাতলা স্তর ব্যবহার করে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়সিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প জমা). জমা সাধারণত 1200-1300°C তাপমাত্রায় বাহিত হয় এবং তাপীয় চাপ কমাতে সাবস্ট্রেট উপাদানের তাপীয় সম্প্রসারণ আচরণ SiC আবরণের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত।
CVD SIC আবরণ ফিল্ম ক্রিস্টাল কাঠামো
SiC আবরণের ভৌত বৈশিষ্ট্যগুলি প্রধানত এর উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, কঠোরতা, জারা প্রতিরোধের এবং তাপ পরিবাহিতা প্রতিফলিত হয়।
সাধারণ শারীরিক পরামিতি সাধারণত নিম্নরূপ:
কঠোরতা: SiC আবরণে সাধারণত 2000-2500 HV এর পরিসরে একটি Vickers হার্ডনেস থাকে, যা তাদের শিল্প প্রয়োগে অত্যন্ত উচ্চ পরিধান এবং প্রভাব প্রতিরোধ ক্ষমতা দেয়।
ঘনত্ব: SiC আবরণ সাধারণত 3.1-3.2 g/cm³ এর ঘনত্ব থাকে। উচ্চ ঘনত্ব আবরণের যান্ত্রিক শক্তি এবং স্থায়িত্বে অবদান রাখে।
তাপ পরিবাহিতা: SiC আবরণের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা থাকে, সাধারণত 120-200 W/mK (20°C তাপমাত্রায়)। এটি উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে এটিকে ভাল তাপ পরিবাহিতা দেয় এবং অর্ধপরিবাহী শিল্পে তাপ চিকিত্সা সরঞ্জামগুলির জন্য এটি বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে।
গলনাঙ্ক: সিলিকন কার্বাইডের গলনাঙ্ক প্রায় 2730°C এবং চরম তাপমাত্রায় এর চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে।
তাপ সম্প্রসারণের সহগ: SiC আবরণে তাপ সম্প্রসারণ (CTE) কম রৈখিক সহগ থাকে, সাধারণত 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃-এ)। এর মানে হল যে এর মাত্রিক স্থায়িত্ব বড় তাপমাত্রার পার্থক্যের তুলনায় চমৎকার।
জারা প্রতিরোধের: SiC আবরণগুলি শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষার এবং অক্সিডাইজিং পরিবেশে ক্ষয়ের জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী, বিশেষ করে যখন শক্তিশালী অ্যাসিড (যেমন HF বা HCl) ব্যবহার করা হয়, তখন তাদের ক্ষয় প্রতিরোধের ক্ষমতা প্রচলিত ধাতব পদার্থের থেকে অনেক বেশি।
SiC আবরণ নিম্নলিখিত উপকরণ প্রয়োগ করা যেতে পারে:
উচ্চ বিশুদ্ধতা আইসোস্ট্যাটিক গ্রাফাইট (নিম্ন CTE)
টংস্টেন
মলিবডেনাম
সিলিকন কার্বাইড
সিলিকন নাইট্রাইড
কার্বন-কার্বন কম্পোজিট (CFC)
SiC প্রলিপ্ত পণ্য সাধারণত নিম্নলিখিত এলাকায় ব্যবহৃত হয়:
LED চিপ উত্পাদন
পলিসিলিকন উত্পাদন
সেমিকন্ডাক্টরস্ফটিক বৃদ্ধি
সিলিকন এবংSiC এপিটাক্সি
ওয়েফার তাপ চিকিত্সা এবং এচিং
কেন VET শক্তি বেছে নিন?
VET Energy হল চীনের SiC আবরণ পণ্যগুলির একটি নেতৃস্থানীয় প্রস্তুতকারক, উদ্ভাবক এবং নেতা, প্রধান SiC আবরণ পণ্যগুলির মধ্যে রয়েছেSiC আবরণ সহ ওয়েফার ক্যারিয়ার, SiC প্রলিপ্তএপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর, SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট রিং, SiC আবরণ সহ অর্ধ-চাঁদের অংশ, SiC প্রলিপ্ত কার্বন-কার্বন যৌগ, SiC প্রলিপ্ত ওয়েফার নৌকা, SiC প্রলিপ্ত হিটার, ইত্যাদি। VET Energy সেমিকন্ডাক্টর শিল্পকে চূড়ান্ত প্রযুক্তি এবং পণ্য সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ এবং কাস্টমাইজেশন পরিষেবাগুলিকে সমর্থন করে। আমরা আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
আপনার যদি কোনো জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, তাহলে অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।
হোয়াটসঅ্যাপ ও ওয়েচ্যাট:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
পোস্ট সময়: অক্টোবর-18-2024