একটি একক ক্রিস্টাল ফার্নেস হল একটি ডিভাইস যা একটি ব্যবহার করেগ্রাফাইট হিটারএকটি নিষ্ক্রিয় গ্যাস (আর্গন) পরিবেশে পলিক্রিস্টালাইন সিলিকন উপাদানগুলিকে দ্রবীভূত করতে এবং অ-স্থানচ্যুত একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য Czochralski পদ্ধতি ব্যবহার করে। এটি প্রধানত নিম্নলিখিত সিস্টেমগুলির সমন্বয়ে গঠিত:
যান্ত্রিক ট্রান্সমিশন সিস্টেম
যান্ত্রিক ট্রান্সমিশন সিস্টেম হল একক ক্রিস্টাল ফার্নেসের মৌলিক অপারেটিং সিস্টেম, যা প্রধানত স্ফটিকের গতিবিধি নিয়ন্ত্রণের জন্য দায়ী এবংক্রুসিবল, বীজ স্ফটিকের উত্তোলন এবং ঘূর্ণন এবং উত্তোলন এবং ঘূর্ণন সহক্রুসিবল. এটি স্ফটিক বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার মসৃণ অগ্রগতি নিশ্চিত করতে স্ফটিক এবং ক্রুসিবলের অবস্থান, গতি এবং ঘূর্ণন কোণের মতো পরামিতিগুলিকে সঠিকভাবে সামঞ্জস্য করতে পারে। উদাহরণ স্বরূপ, বীজ বপন, নেকিং, শোল্ডারিং, সমান ব্যাসের বৃদ্ধি এবং টেলিংয়ের মতো বিভিন্ন স্ফটিক বৃদ্ধির পর্যায়ে, ক্রিস্টাল বৃদ্ধির প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা মেটাতে বীজ স্ফটিক এবং ক্রুসিবলের গতিবিধি এই সিস্টেম দ্বারা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন।
গরম করার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
এটি একক ক্রিস্টাল ফার্নেসের মূল সিস্টেমগুলির মধ্যে একটি, যা তাপ উৎপন্ন করতে এবং চুল্লিতে তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। এটি মূলত হিটার, তাপমাত্রা সেন্সর এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রকগুলির মতো উপাদানগুলির সমন্বয়ে গঠিত। হিটার সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইটের মতো উপকরণ দিয়ে তৈরি হয়। অল্টারনেটিং কারেন্ট রুপান্তরিত হয়ে কারেন্ট বাড়ানোর জন্য কমিয়ে আনার পর, হিটার ক্রুসিবলের পলিসিলিকনের মতো পলিক্রিস্টালাইন পদার্থ গলানোর জন্য তাপ উৎপন্ন করে। তাপমাত্রা সেন্সর রিয়েল টাইমে চুল্লিতে তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলি নিরীক্ষণ করে এবং তাপমাত্রা নিয়ামককে তাপমাত্রা সংকেত প্রেরণ করে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রক নির্দিষ্ট তাপমাত্রার পরামিতি এবং প্রতিক্রিয়া তাপমাত্রা সংকেত অনুযায়ী গরম করার শক্তিকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করে, যার ফলে চুল্লিতে তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা বজায় থাকে এবং স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য একটি উপযুক্ত তাপমাত্রা পরিবেশ প্রদান করে।
ভ্যাকুয়াম সিস্টেম
ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের প্রধান কাজ হল স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন চুল্লিতে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশ তৈরি করা এবং বজায় রাখা। চুল্লির বায়ু এবং অপরিচ্ছন্নতা গ্যাসগুলি ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং অন্যান্য সরঞ্জামের মাধ্যমে নিষ্কাশন করা হয় যাতে চুল্লিতে গ্যাসের চাপ অত্যন্ত নিম্ন স্তরে পৌঁছায়, সাধারণত 5TOR (টর) এর নিচে। এটি উচ্চ তাপমাত্রায় অক্সিডাইজ হওয়া থেকে সিলিকন উপাদান প্রতিরোধ করতে পারে এবং স্ফটিক বৃদ্ধির বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করতে পারে। একই সময়ে, ভ্যাকুয়াম পরিবেশ স্ফটিক বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সময় উত্পন্ন উদ্বায়ী অমেধ্য অপসারণ এবং স্ফটিকের গুণমান উন্নত করতেও সহায়ক।
আর্গন সিস্টেম
আর্গন সিস্টেম একক স্ফটিক চুল্লিতে চুল্লিতে চাপ রক্ষা এবং নিয়ন্ত্রণে ভূমিকা পালন করে। ভ্যাকুয়াম করার পরে, উচ্চ-বিশুদ্ধতা আর্গন গ্যাস (বিশুদ্ধতা 6 9 এর উপরে হতে হবে) চুল্লিতে ভরা হয়। একদিকে, এটি চুল্লিতে প্রবেশ করা থেকে বাইরের বাতাসকে প্রতিরোধ করতে পারে এবং সিলিকন উপাদানগুলিকে অক্সিডাইজ করা থেকে আটকাতে পারে; অন্যদিকে, আর্গন গ্যাসের ভরাট চুল্লিতে চাপ স্থিতিশীল রাখতে পারে এবং স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য একটি উপযুক্ত চাপ পরিবেশ প্রদান করতে পারে। উপরন্তু, আর্গন গ্যাসের প্রবাহ স্ফটিক বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সময় উত্পন্ন তাপ কেড়ে নিতে পারে, একটি নির্দিষ্ট শীতল ভূমিকা পালন করে।
জল কুলিং সিস্টেম
ওয়াটার কুলিং সিস্টেমের কাজ হল একক ক্রিস্টাল ফার্নেসের বিভিন্ন উচ্চ-তাপমাত্রার উপাদানগুলিকে ঠান্ডা করা যাতে সরঞ্জামের স্বাভাবিক অপারেশন এবং পরিষেবা জীবন নিশ্চিত করা যায়। একক স্ফটিক চুল্লির অপারেশন চলাকালীন, হিটার,ক্রুসিবল, ইলেক্ট্রোড এবং অন্যান্য উপাদানগুলি প্রচুর তাপ উৎপন্ন করবে। যদি সময়মতো ঠাণ্ডা না করা হয়, তাহলে যন্ত্রপাতি অতিরিক্ত গরম হবে, বিকৃত হবে বা এমনকি ক্ষতিগ্রস্ত হবে। ওয়াটার কুলিং সিস্টেম সরঞ্জামের তাপমাত্রা নিরাপদ সীমার মধ্যে রাখতে শীতল জল সঞ্চালন করে এই উপাদানগুলির তাপ কেড়ে নেয়। একই সময়ে, জলের কুলিং সিস্টেমটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের সঠিকতা উন্নত করতে চুল্লিতে তাপমাত্রা সামঞ্জস্য করতে সহায়তা করতে পারে।
বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা হল একক ক্রিস্টাল ফার্নেসের "মস্তিষ্ক", যা সমগ্র সরঞ্জামের ক্রিয়াকলাপ পর্যবেক্ষণ ও নিয়ন্ত্রণের জন্য দায়ী। এটি বিভিন্ন সেন্সর থেকে সংকেত গ্রহণ করতে পারে, যেমন তাপমাত্রা সেন্সর, চাপ সেন্সর, অবস্থান সেন্সর, ইত্যাদি, এবং এই সংকেতের উপর ভিত্তি করে যান্ত্রিক ট্রান্সমিশন সিস্টেম, গরম করার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, আর্গন সিস্টেম এবং জল শীতল করার ব্যবস্থা সমন্বয় ও নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, স্ফটিক বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন, বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা স্বয়ংক্রিয়ভাবে তাপমাত্রা সেন্সর দ্বারা খাওয়ানো তাপমাত্রা সংকেত অনুযায়ী গরম করার শক্তি সামঞ্জস্য করতে পারে; স্ফটিকের বৃদ্ধি অনুসারে, এটি বীজ স্ফটিক এবং ক্রুসিবলের গতিবিধি এবং ঘূর্ণন কোণ নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। একই সময়ে, বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থায় ত্রুটি নির্ণয় এবং অ্যালার্ম ফাংশন রয়েছে, যা সময়মতো সরঞ্জামের অস্বাভাবিক অবস্থা সনাক্ত করতে পারে এবং সরঞ্জামগুলির নিরাপদ অপারেশন নিশ্চিত করতে পারে।
পোস্টের সময়: সেপ্টেম্বর-২৩-২০২৪