বাষ্প ফেজ এপিটাক্সি (ভিপিই) প্রক্রিয়া চলাকালীন, পেডেস্টালের ভূমিকা হল সাবস্ট্রেটকে সমর্থন করা এবং বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সময় অভিন্ন গরম করা নিশ্চিত করা। বিভিন্ন ধরণের পেডেস্টাল বিভিন্ন বৃদ্ধির অবস্থা এবং উপাদান ব্যবস্থার জন্য উপযুক্ত। নিম্নে বাষ্প পর্যায়ে সাধারণত ব্যবহৃত কিছু পেডেস্টাল প্রকার রয়েছেএপিটাক্সি:
ব্যারেল পেডেস্টাল
ব্যারেল পেডেস্টালগুলি সাধারণত অনুভূমিক বা কাত বাষ্প ফেজ এপিটাক্সি সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়। তারা স্তরটিকে ধরে রাখতে পারে এবং গ্যাসকে স্তরের উপর দিয়ে প্রবাহিত হতে দেয়, যা অভিন্ন এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জনে সহায়তা করে।
ডিস্ক-আকৃতির পেডেস্টাল (উল্লম্ব পেডেস্টাল)
ডিস্ক-আকৃতির পেডেস্টালগুলি উল্লম্ব বাষ্প ফেজ এপিটাক্সি সিস্টেমের জন্য উপযুক্ত, যেখানে স্তরটি উল্লম্বভাবে স্থাপন করা হয়। এই নকশাটি সাবস্ট্রেট এবং সাসেপ্টরের মধ্যে যোগাযোগের ক্ষেত্র কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে তাপ হ্রাস এবং সম্ভাব্য দূষণ হ্রাস পায়।
অনুভূমিক সাসেপ্টর
অনুভূমিক সাসেপ্টরগুলি বাষ্প পর্যায়ের এপিটাক্সিতে কম সাধারণ, তবে অনুভূমিক দিকে এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির অনুমতি দেওয়ার জন্য কিছু নির্দিষ্ট বৃদ্ধি সিস্টেমে ব্যবহার করা যেতে পারে।
মনোলিথিক এপিটাক্সিয়াল প্রতিক্রিয়া সাসেপ্টর
মনোলিথিক এপিটাক্সিয়াল প্রতিক্রিয়া সাসেপ্টরটি একটি একক স্তরের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধির জন্য উপযুক্ত আরও সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং আরও ভাল তাপীয় বিচ্ছিন্নতা প্রদান করতে পারে।
পণ্যের তথ্য এবং পরামর্শের জন্য আমাদের ওয়েবসাইটে স্বাগতম।
আমাদের ওয়েবসাইট: https://www.vet-china.com/
পোস্টের সময়: জুলাই-30-2024