সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের প্রয়োগ

ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের নির্ভুল অংশগুলির জন্য পছন্দের উপাদান

অর্ধপরিবাহী ক্ষেত্রে,সিলিকন কার্বাইড সিরামিকউপকরণগুলি প্রধানত ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদনের জন্য প্রধান সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবল, গাইড রেল,প্রতিফলক, সিরামিক স্তন্যপান চকলিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য অস্ত্র, গ্রাইন্ডিং ডিস্ক, ফিক্সচার ইত্যাদি।

সিলিকন কার্বাইড সিরামিক অংশঅর্ধপরিবাহী এবং অপটিক্যাল সরঞ্জামের জন্য

● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক নাকাল ডিস্ক. যদি গ্রাইন্ডিং ডিস্কটি ঢালাই লোহা বা কার্বন ইস্পাত দিয়ে তৈরি হয় তবে এর পরিষেবা জীবন ছোট এবং এর তাপীয় প্রসারণ সহগ বড়। সিলিকন ওয়েফারের প্রক্রিয়াকরণের সময়, বিশেষত উচ্চ-গতির গ্রাইন্ডিং বা পলিশিংয়ের সময়, গ্রাইন্ডিং ডিস্কের পরিধান এবং তাপীয় বিকৃতি সিলিকন ওয়েফারের সমতলতা এবং সমান্তরালতা নিশ্চিত করা কঠিন করে তোলে। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক দিয়ে তৈরি গ্রাইন্ডিং ডিস্কে উচ্চ কঠোরতা এবং কম পরিধান রয়েছে এবং তাপ সম্প্রসারণ সহগ মূলত সিলিকন ওয়েফারের মতোই, তাই এটি উচ্চ গতিতে মাটি এবং পালিশ করা যেতে পারে।
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ফিক্সচার. এছাড়াও, যখন সিলিকন ওয়েফারগুলি উত্পাদিত হয়, তখন তাদের উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ চিকিত্সার মধ্য দিয়ে যেতে হয় এবং প্রায়শই সিলিকন কার্বাইড ফিক্সচার ব্যবহার করে পরিবহন করা হয়। এগুলি তাপ-প্রতিরোধী এবং অ-ধ্বংসাত্মক। হীরার মতো কার্বন (DLC) এবং অন্যান্য আবরণগুলি কার্যক্ষমতা বাড়াতে, ওয়েফারের ক্ষতি কমাতে এবং দূষণকে ছড়িয়ে পড়া রোধ করতে পৃষ্ঠে প্রয়োগ করা যেতে পারে।
● সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবল। লিথোগ্রাফি মেশিনে ওয়ার্কটেবিলটিকে উদাহরণ হিসাবে নিলে, ওয়ার্কটেবিলটি প্রধানত এক্সপোজার মুভমেন্ট সম্পূর্ণ করার জন্য দায়ী, যার জন্য উচ্চ-গতি, বড়-স্ট্রোক, ছয়-ডিগ্রী-অফ-স্বাধীনতা ন্যানো-লেভেলের অতি-নির্ভুল আন্দোলনের প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ, 100nm রেজোলিউশন সহ একটি লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য, 33nm এর ওভারলে নির্ভুলতা এবং 10nm এর একটি লাইন প্রস্থ, ওয়ার্কটেবল পজিশনিং নির্ভুলতা 10nm এ পৌঁছানোর জন্য প্রয়োজন, মাস্ক-সিলিকন ওয়েফারের যুগপত পদক্ষেপ এবং স্ক্যানিং গতি 150nm/ এবং যথাক্রমে 120nm/s, এবং মাস্ক স্ক্যান করার গতি 500nm/s এর কাছাকাছি, এবং ওয়ার্কটেবলের খুব উচ্চ গতির নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব থাকা প্রয়োজন।

ওয়ার্কটেবিল এবং মাইক্রো-মোশন টেবিলের পরিকল্পিত চিত্র (আংশিক বিভাগ)

● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না। লিথোগ্রাফি মেশিনের মতো কী ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জামগুলির মূল উপাদানগুলির জটিল আকার, জটিল মাত্রা এবং ফাঁপা হালকা কাঠামো রয়েছে, যা এই ধরনের সিলিকন কার্বাইড সিরামিক উপাদানগুলি প্রস্তুত করা কঠিন করে তোলে। বর্তমানে, মূলধারার আন্তর্জাতিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জাম নির্মাতারা, যেমন নেদারল্যান্ডসের ASML, NIKON এবং জাপানের CANON, বর্গাকার আয়না, লিথোগ্রাফি মেশিনের মূল উপাদান প্রস্তুত করতে মাইক্রোক্রিস্টালাইন গ্লাস এবং কর্ডিয়ারাইটের মতো প্রচুর পরিমাণে উপকরণ ব্যবহার করে এবং সিলিকন কার্বাইড ব্যবহার করে। সিরামিক সহজ আকারের সাথে অন্যান্য উচ্চ-কর্মক্ষমতা কাঠামোগত উপাদান প্রস্তুত করতে। যাইহোক, চায়না বিল্ডিং ম্যাটেরিয়ালস রিসার্চ ইনস্টিটিউটের বিশেষজ্ঞরা লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য বড় আকারের, জটিল আকৃতির, অত্যন্ত হালকা, সম্পূর্ণরূপে আবদ্ধ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না এবং অন্যান্য কাঠামোগত এবং কার্যকরী অপটিক্যাল উপাদানের প্রস্তুতি অর্জনের জন্য মালিকানাধীন প্রস্তুতি প্রযুক্তি ব্যবহার করেছেন।