স্পটারিং টার্গেটমূলত ইলেকট্রনিক্স এবং তথ্য শিল্পে ব্যবহৃত হয়, যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, তথ্য স্টোরেজ, লিকুইড ক্রিস্টাল ডিসপ্লে, লেজার মেমোরি, ইলেকট্রনিক কন্ট্রোল ডিভাইস ইত্যাদি। এগুলি কাচের আবরণের ক্ষেত্রেও ব্যবহার করা যেতে পারে, পাশাপাশি পরিধান-প্রতিরোধী উপকরণ, উচ্চ-তাপমাত্রা জারা প্রতিরোধের, উচ্চ শেষ আলংকারিক পণ্য এবং অন্যান্য শিল্প।
পাতলা ফিল্ম উপকরণ প্রস্তুত করার জন্য Sputtering প্রধান কৌশল এক.এটি আয়ন উত্স দ্বারা উত্পন্ন আয়নগুলিকে ত্বরান্বিত করতে এবং ভ্যাকুয়ামে একত্রিত করে উচ্চ-গতির শক্তি আয়ন বিম তৈরি করতে, কঠিন পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করতে এবং আয়ন এবং কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুর মধ্যে গতিশক্তি বিনিময় করতে ব্যবহার করে। কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুগুলি কঠিন ত্যাগ করে এবং স্তরের পৃষ্ঠে জমা হয়। বোমবার্ডেড সলিড হল স্পটারিং দ্বারা পাতলা ফিল্ম জমা করার কাঁচামাল, যাকে স্পাটারিং টার্গেট বলা হয়। সেমিকন্ডাক্টর ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, রেকর্ডিং মিডিয়া, ফ্ল্যাট-প্যানেল ডিসপ্লে এবং ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের আবরণে বিভিন্ন ধরণের স্পুটারযুক্ত পাতলা ফিল্ম সামগ্রী ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে।
সমস্ত অ্যাপ্লিকেশন শিল্পের মধ্যে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের লক্ষ্য স্পটারিং ফিল্মগুলির জন্য সবচেয়ে কঠোর মানের প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা ধাতু স্পটারিং লক্ষ্যগুলি প্রধানত ওয়েফার উত্পাদন এবং উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়। একটি উদাহরণ হিসাবে চিপ উত্পাদন গ্রহণ, আমরা দেখতে পারি যে একটি সিলিকন ওয়েফার থেকে একটি চিপ পর্যন্ত, এটিকে 7টি প্রধান উত্পাদন প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যেতে হবে, যথা, ডিফিউশন (থার্মাল প্রসেস), ফটো-লিথোগ্রাফি (ফটো-লিথোগ্রাফি), ইচ (এচ)। আয়ন ইমপ্লান্টেশন (আয়ন ইমপ্লান্ট), পাতলা ফিল্ম গ্রোথ (ডাইইলেক্ট্রিক ডিপোজিশন), কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং (সিএমপি), ধাতবকরণ (ধাতুকরণ) প্রক্রিয়াগুলি একের পর এক অনুরূপ। স্পুটারিং টার্গেটটি "ধাতুকরণ" প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়। পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম দ্বারা লক্ষ্যবস্তুতে উচ্চ-শক্তির কণা দিয়ে বোমাবর্ষণ করা হয় এবং তারপরে সিলিকন ওয়েফারের উপর নির্দিষ্ট ফাংশন সহ একটি ধাতব স্তর তৈরি হয়, যেমন পরিবাহী স্তর, বাধা স্তর। অপেক্ষা করুন। যেহেতু সম্পূর্ণ সেমিকন্ডাক্টরগুলির প্রক্রিয়াগুলি বৈচিত্র্যময় তাই সিস্টেমটি সঠিকভাবে বিদ্যমান কিনা তা যাচাই করার জন্য কিছু মাঝে মাঝে পরিস্থিতির প্রয়োজন হয় তাই আমরা প্রভাবগুলি নিশ্চিত করার জন্য উত্পাদনের নির্দিষ্ট পর্যায়ে কিছু ধরণের ডামি উপকরণের দাবি করি।
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-17-2022