উন্নতSiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলপশুচিকিত্সক-চীন দ্বারা তৈরি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের জন্য একটি চমৎকার সমাধান প্রদান করে। এই ক্যান্টিলিভার প্যাডেলটি SiC (সিলিকন কার্বাইড) উপাদান দিয়ে তৈরি, এবং এর উচ্চ কঠোরতা এবং তাপ প্রতিরোধের কারণে এটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশে চমৎকার কর্মক্ষমতা বজায় রাখতে সক্ষম হয়। ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের নকশাটি প্রক্রিয়াকরণের সময় ওয়েফারকে নির্ভরযোগ্যভাবে সমর্থিত হতে দেয়, বিভক্তকরণ এবং ক্ষতির ঝুঁকি হ্রাস করে।
SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলঅক্সিডেশন ফার্নেস, ডিফিউশন ফার্নেস এবং অ্যানিলিং ফার্নেসের মতো অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরঞ্জামে ব্যবহৃত একটি বিশেষ উপাদান, প্রধান ব্যবহার হল ওয়েফার লোডিং এবং আনলোডিং, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারকে সমর্থন এবং পরিবহনের জন্য।
সাধারণ কাঠামোএরSiCcঅ্যান্টিলিভারpaddle: একটি ক্যান্টিলিভার কাঠামো, এক প্রান্তে স্থির এবং অন্য প্রান্তে বিনামূল্যে, সাধারণত একটি সমতল এবং প্যাডেলের মতো নকশা থাকে।
মানের গ্যারান্টি দিতে VET শক্তি উচ্চ বিশুদ্ধতা পুনঃক্রিস্টালাইজড সিলিকন কার্বাইড উপকরণ ব্যবহার করে।
| রিক্রিস্টালাইজড সিলিকন কার্বাইডের ভৌত বৈশিষ্ট্য | |
| সম্পত্তি | সাধারণ মান |
| কাজের তাপমাত্রা (°C) | 1600°C (অক্সিজেন সহ), 1700°C (পরিবেশ হ্রাসকারী) |
| SiC বিষয়বস্তু | > 99.96% |
| বিনামূল্যে Si কন্টেন্ট | < 0.1% |
| বাল্ক ঘনত্ব | 2.60-2.70 গ্রাম/সেমি3 |
| আপাত porosity | <16% |
| কম্প্রেশন শক্তি | > 600এমপিএ |
| ঠান্ডা নমন শক্তি | 80-90 MPa (20°C) |
| গরম নমন শক্তি | 90-100 MPa (1400°C) |
| তাপ সম্প্রসারণ @1500°C | 4.70 10-6/°সে |
| তাপ পরিবাহিতা @1200°C | 23W/m•K |
| ইলাস্টিক মডুলাস | 240 জিপিএ |
| তাপীয় শক প্রতিরোধের | অত্যন্ত ভাল |
ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য VET Energy-এর অ্যাডভান্সড SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের সুবিধাগুলি হল:
-উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা: 1600 ডিগ্রি সেলসিয়াসের উপরে পরিবেশে ব্যবহারযোগ্য;
-নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ: মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, ওয়েফার যুদ্ধের ঝুঁকি হ্রাস করে;
-উচ্চ বিশুদ্ধতা: ধাতু দূষণের কম ঝুঁকি;
-রাসায়নিক জড়তা: জারা-প্রতিরোধী, বিভিন্ন গ্যাস পরিবেশের জন্য উপযুক্ত;
-উচ্চ শক্তি এবং কঠোরতা: পরিধান-প্রতিরোধী, দীর্ঘ সেবা জীবন;
-ভাল তাপ পরিবাহিতা: অভিন্ন ওয়েফার গরম করতে সাহায্য করে।
