Dual-Damascene е технологична технология, използвана за производство на метални връзки в интегрални схеми. Това е по-нататъшно развитие на процеса от Дамаск. Чрез оформяне на проходни отвори и жлебове по едно и също време в една и съща стъпка на процеса и запълването им с метал се реализира интегрираното производство на метални връзки.
Защо се казва Дамаск?
Град Дамаск е столицата на Сирия, а дамаските мечове са известни със своята острота и изящна текстура. Необходим е вид процес на инкрустиране: първо, необходимият модел се гравира върху повърхността на дамаската стомана и предварително подготвените материали се инкрустират плътно в гравираните канали. След като инкрустацията приключи, повърхността може да е малко неравна. Майсторът внимателно ще го полира, за да осигури цялостната гладкост. И този процес е прототипът на двойния процес на Дамаск на чипа. Първо в диелектричния слой се гравират жлебове или дупки, след което в тях се запълва метал. След запълването излишният метал ще бъде отстранен от cmp.
Основните стъпки на процеса на двойна дамасцена включват:
▪ Отлагане на диелектричен слой:
Нанесете слой от диелектричен материал, като силициев диоксид (SiO2), върху полупроводникавафла.
▪ Фотолитография за определяне на модела:
Използвайте фотолитография, за да определите модела на отворите и каналите върху диелектричния слой.
▪Офорт:
Прехвърлете шаблона от отвори и канали върху диелектричния слой чрез сух или мокър процес на ецване.
▪ Отлагане на метал:
Депозирайте метал, като мед (Cu) или алуминий (Al), във отвори и канали, за да образувате метални връзки.
▪ Химико механично полиране:
Химико-механично полиране на металната повърхност за отстраняване на излишния метал и изглаждане на повърхността.
В сравнение с традиционния процес на производство на метални връзки, двойният процес на дамасцена има следните предимства:
▪Опростени стъпки на процеса:чрез формиране на отвори и канали едновременно в една и съща стъпка на процеса, стъпките на процеса и времето за производство се намаляват.
▪Подобрена ефективност на производството:поради намаляването на етапите на процеса, двойният процес на дамасцена може да подобри ефективността на производството и да намали производствените разходи.
▪Подобрете производителността на металните връзки:двойният процес на дамасцена може да постигне по-тесни метални връзки, като по този начин подобрява интеграцията и производителността на веригите.
▪Намаляване на паразитния капацитет и съпротивление:чрез използване на диелектрични материали с ниско k и оптимизиране на структурата на металните връзки, паразитният капацитет и съпротивление могат да бъдат намалени, подобрявайки скоростта и производителността на консумацията на енергия на веригите.
Време на публикуване: 25 ноември 2024 г