Покритие от силициев карбид,обикновено известно като SiC покритие, се отнася до процеса на нанасяне на слой от силициев карбид върху повърхности чрез методи като химическо отлагане на пари (CVD), физическо отлагане на пари (PVD) или термично пръскане. Това керамично покритие от силициев карбид подобрява повърхностните свойства на различни субстрати, като придава изключителна устойчивост на износване, термична стабилност и защита от корозия. SiC е известен със своите изключителни физични и химични свойства, включително висока точка на топене (приблизително 2700 ℃), изключителна твърдост (скала на Mohs 9), отлична устойчивост на корозия и окисляване и изключителна производителност на аблация.
Основни предимства на покритието от силициев карбид в промишлени приложения
Благодарение на тези характеристики покритието от силициев карбид се използва широко в области като космическото пространство, оръжейното оборудване и обработката на полупроводници. В екстремни среди, особено в диапазона 1800-2000 ℃, SiC покритието показва забележителна термична стабилност и устойчивост на аблация, което го прави идеално за приложения при високи температури. Въпреки това, само на силициевия карбид липсва структурната цялост, необходима за много приложения, така че се използват методи за покритие, за да се използват уникалните му свойства, без да се компрометира здравината на компонента. В производството на полупроводници елементите, покрити със силициев карбид, осигуряват надеждна защита и стабилност на работата в оборудването, използвано в процесите MOCVD.
Общи методи за подготовка на покритие от силициев карбид
Ⅰ● Покритие от силициев карбид за химическо отлагане на пари (CVD).
При този метод SiC покритията се образуват чрез поставяне на субстрати в реакционна камера, където метилтрихлоросилан (MTS) действа като прекурсор. При контролирани условия - обикновено 950-1300°C и отрицателно налягане - MTS претърпява разлагане и силициевият карбид се отлага върху повърхността. Този процес на нанасяне на CVD SiC покритие осигурява плътно, равномерно покритие с отлично прилепване, идеално за високопрецизни приложения в полупроводниковия и космическия сектор.
Ⅱ● Метод на преобразуване на прекурсор (полимерна импрегнация и пиролиза – PIP)
Друг ефективен подход за нанасяне на покритие със силициев карбид е методът за преобразуване на прекурсора, който включва потапяне на предварително обработената проба в разтвор на керамичен прекурсор. След вакуумиране на резервоара за импрегниране и херметизиране на покритието, пробата се нагрява, което води до образуване на покритие от силициев карбид при охлаждане. Този метод е предпочитан за компоненти, изискващи равномерна дебелина на покритието и повишена устойчивост на износване.
Физични свойства на покритието от силициев карбид
Покритията от силициев карбид показват свойства, които ги правят идеални за взискателни индустриални приложения. Тези свойства включват:
Топлопроводимост: 120-270 W/m·K
Коефициент на топлинно разширение: 4,3 × 10^(-6)/K (при 20~800 ℃)
Електрическо съпротивление: 10^5– 10^6Ω·cm
Твърдост: скала на Моос 9
Приложения на покритие от силициев карбид
В производството на полупроводници покритието от силициев карбид за MOCVD и други високотемпературни процеси предпазва критично оборудване, като реактори и токоприемници, като предлага както устойчивост на висока температура, така и стабилност. В космическото пространство и отбраната керамичните покрития от силициев карбид се прилагат върху компоненти, които трябва да издържат на високоскоростни удари и корозивни среди. Освен това, боята или покритията от силициев карбид могат да се използват и върху медицински устройства, които изискват издръжливост при процедури за стерилизация.
Защо да изберете покритие от силициев карбид？
С доказан рекорд в удължаването на живота на компонентите, покритията от силициев карбид осигуряват несравнима издръжливост и температурна стабилност, което ги прави рентабилни за дългосрочна употреба. Избирайки повърхност с покритие от силициев карбид, индустриите се възползват от намалени разходи за поддръжка, подобрена надеждност на оборудването и подобрена оперативна ефективност.
Защо да изберете VET ENERGY?
VET ENERGY е професионален производител и фабрика на продукти за покритие от силициев карбид в Китай. Основните продукти за покритие от SiC включват нагревател за керамично покритие от силициев карбид,CVD Силициево-карбидно покритие MOCVD Susceptor, MOCVD графитен носител с CVD SiC покритие, Графитни основни носители с SiC покритие, Графитен субстрат с покритие от силициев карбид за полупроводници,SiC покритие/графитен субстрат с покритие/тава за полупроводници, CVD SiC покрита въглерод-въглеродна композитна CFC форма за лодка. VET ENERGY се ангажира да предоставя модерни технологии и продуктови решения за полупроводниковата индустрия. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Време на публикуване: 2 септември 2023 г