КАК СЕ НАПРАВИ СИЛИКОНОВА ВАФЛА
A вафлае парче силиций с дебелина приблизително 1 милиметър, което има изключително равна повърхност благодарение на процедури, които са технически много взискателни. Последващата употреба определя коя процедура за отглеждане на кристали трябва да се използва. В процеса на Чохралски, например, поликристалният силиций се разтопява и тънък като молив зародишен кристал се потапя в разтопения силиций. След това зародишният кристал се завърта и бавно се издърпва нагоре. Получава се много тежък колос, монокристал. Възможно е да се изберат електрическите характеристики на монокристала чрез добавяне на малки единици добавки с висока чистота. Кристалите се легират в съответствие със спецификациите на клиента и след това се полират и нарязват на резени. След различни допълнителни производствени стъпки, клиентът получава определените от него вафли в специална опаковка, което позволява на клиента да използва вафлата веднага в своята производствена линия.
ПРОЦЕС НА ЧОХРАЛСКИ
Днес голяма част от силициевите монокристали се отглеждат съгласно процеса на Чохралски, който включва топене на поликристален силиций с висока чистота в хиперчист кварцов тигел и добавяне на добавка (обикновено B, P, As, Sb). Тънък, монокристален зародишен кристал се потапя в разтопения силиций. След това от този тънък кристал се развива голям CZ кристал. Прецизното регулиране на температурата и потока на разтопения силиций, въртенето на кристала и тигела, както и скоростта на изтегляне на кристала води до изключително висококачествен монокристален силициев слитък.
МЕТОД НА ПЛАВАЩАТА ЗОНА
Монокристалите, произведени по метода на плаващата зона, са идеални за използване в силови полупроводникови компоненти, като IGBT. Цилиндричен поликристален силициев слитък е монтиран върху индукционна намотка. Радиочестотно електромагнитно поле помага за стопяването на силиция от долната част на пръта. Електромагнитното поле регулира потока силиций през малък отвор в индукционната намотка и върху монокристала, който лежи отдолу (метод на плаваща зона). Допингът, обикновено с B или P, се постига чрез добавяне на газообразни вещества.
Време на публикуване: 07 юни 2021 г