По време на процеса на епитаксия в парна фаза (VPE), ролята на пиедестала е да поддържа субстрата и да осигурява равномерно нагряване по време на процеса на растеж. Различните видове пиедестали са подходящи за различни условия на растеж и системи от материали. По-долу са някои от често използваните типове пиедестал в парна фазаепитаксия:
Барел пиедестал
Барелните пиедестали обикновено се използват в хоризонтални или наклонени системи за епитаксия в парна фаза. Те могат да задържат субстрата и да позволят на газа да тече върху субстрата, което спомага за постигане на равномерен епитаксиален растеж.
Пиедестал във формата на диск (вертикален пиедестал)
Дисковидните пиедестали са подходящи за вертикални системи за епитаксия в газова фаза, при които субстратът е поставен вертикално. Този дизайн помага за намаляване на контактната площ между субстрата и приемника, като по този начин намалява загубата на топлина и потенциалното замърсяване.
Хоризонтален фиксатор
Хоризонталните фиксатори са по-рядко срещани при епитаксия в парна фаза, но могат да се използват в някои специфични системи за растеж, за да позволят епитаксиален растеж в хоризонтална посока.
Монолитен епитаксиален реакционен ток
Монолитният епитаксиален реакционен приемник е проектиран за единичен субстрат, който може да осигури по-прецизен температурен контрол и по-добра термична изолация, подходяща за растеж на висококачествени епитаксиални слоеве.
Добре дошли на нашия уебсайт за продуктова информация и консултация.
Нашият уебсайт: https://www.vet-china.com/
Време на публикуване: 30 юли 2024 г