Нераўнамернасць іоннай бамбардзіроўкі
Сушыцьтручэннезвычайна гэта працэс, які спалучае фізічныя і хімічныя эфекты, у якім іённая бамбардзіроўка з'яўляецца важным фізічным метадам тручэння. Падчас стпрацэс тручэння, вугал падзення і размеркаванне энергіі іёнаў могуць быць нераўнамернымі.
Калі вугал падзення іёнаў адрозніваецца ў розных месцах на бакавіне, эфект тручэння іёнаў на бакавіне таксама будзе розным. У месцах з вялікімі вугламі падзення іёнаў эфект тручэння іёнамі на бакавіну мацнейшы, што прывядзе да таго, што бакавіна ў гэтай зоне будзе больш выгравіравана, што прывядзе да згінання бакавіны. Акрамя таго, нераўнамернае размеркаванне энергіі іёнаў таксама будзе выклікаць падобныя эфекты. Іёны з большай энергіяй могуць больш эфектыўна выдаляць матэрыялы, што прыводзіць да непаслядоўнасцітручэннеградусы бакавіны ў розных пазіцыях, што, у сваю чаргу, прыводзіць да згінання бакавіны.
Ўплыў фотарэзіста
Фотарэзіст гуляе ролю маскі пры сухім тручэнні, абараняючы ўчасткі, якія не патрабуюць тручэння. Аднак на фотарэзіст таксама ўплывае плазменная бамбардзіроўка і хімічныя рэакцыі падчас працэсу тручэння, і яго характарыстыкі могуць змяніцца.
Калі таўшчыня фотарэзіста нераўнамерная, норма расходу падчас працэсу тручэння неадпаведная або адгезія паміж фотарэзістам і падкладкай розная ў розных месцах, гэта можа прывесці да нераўнамернай абароны бакавін падчас працэсу тручэння. Напрыклад, участкі з больш тонкім фотарэзістам або слабейшай адгезіяй могуць зрабіць асноўны матэрыял лягчэй вытраўлены, у выніку чаго бакавыя сценкі будуць згінацца ў гэтых месцах.
Адрозненні ва ўласцівасцях матэрыялу падкладкі
Сам матэрыял падкладкі, выгравіраваны, можа мець розныя ўласцівасці, такія як розная арыентацыя крышталя і канцэнтрацыя допінгу ў розных рэгіёнах. Гэтыя адрозненні паўплываюць на хуткасць тручэння і селектыўнасць тручэння.
Напрыклад, у крышталічным крэмніі размяшчэнне атамаў крэмнію ў розных арыентацыях крышталяў адрозніваецца, і іх рэакцыйная здольнасць і хуткасць тручэння газам для тручэння таксама будуць рознымі. У працэсе тручэння розная хуткасць тручэння, выкліканая розніцай ва ўласцівасцях матэрыялу, прывядзе да неадпаведнасці глыбіні тручэння бакавін у розных месцах, што ў канчатковым выніку прывядзе да выгібу бакавіны.
Фактары, звязаныя з абсталяваннем
Прадукцыйнасць і стан абсталявання для тручэння таксама аказваюць важны ўплыў на вынікі тручэння. Напрыклад, такія праблемы, як нераўнамернае размеркаванне плазмы ў рэакцыйнай камеры і нераўнамерны знос электродаў, могуць прывесці да нераўнамернага размеркавання такіх параметраў, як шчыльнасць іёнаў і энергія на паверхні пласціны падчас тручэння.
Акрамя таго, нераўнамерны кантроль тэмпературы абсталявання і невялікія ваганні патоку газу таксама могуць паўплываць на аднастайнасць тручэння, што прывядзе да выгібу бакавой сценкі.
Час публікацыі: 3 снежня 2024 г