Dual-Damascene - гэта тэхналогія, якая выкарыстоўваецца для вытворчасці металічных злучэнняў у інтэгральных схемах. Гэта далейшае развіццё Дамаскага працэсу. Шляхам адначасовага фарміравання скразных адтулін і канавак на адным этапе працэсу і запаўнення іх металам рэалізуецца інтэграванае выраб металічных злучэнняў.
Чаму яго называюць Дамаскам?
Горад Дамаск - сталіца Сірыі, а дамаскія мячы славяцца вастрынёй і вытанчанай фактурай. Неабходны своеасаблівы працэс інкрустацыі: спачатку неабходны ўзор выгравіраваны на паверхні дамаскай сталі, а загадзя падрыхтаваныя матэрыялы шчыльна ўстаўлены ў выгравіраваныя пазы. Пасля завяршэння інкрустацыі паверхня можа быць трохі няроўнай. Майстар старанна адпаліруе яго, каб забяспечыць агульную гладкасць. І гэты працэс з'яўляецца прататыпам двайнога дамаскага працэсу чыпа. Спачатку ў пласце дыэлектрыка выгравіруюцца пазы або адтуліны, а затым у іх заліваецца метал. Пасля запаўнення лішкі металу выдаляюцца з дапамогай cmp.
Асноўныя этапы працэсу падвойнага дамаскіну ўключаюць:
▪ Нанясенне дыэлектрычнага пласта:
Нанясіце на паўправаднік пласт дыэлектрычнага матэрыялу, напрыклад, дыяксіду крэмнію (SiO2).вафельны.
▪ Фоталітаграфія для вызначэння ўзору:
Выкарыстоўвайце фоталітаграфію, каб вызначыць малюнак адтулін і канавок на пласце дыэлектрыка.
▪Афорт:
Перанясіце малюнак скразных адтулін і канавок на дыэлектрычны пласт праз працэс сухога або вільготнага тручэння.
▪ Нанясенне металу:
Наносіце метал, напрыклад медзь (Cu) або алюміній (Al), у скразныя адтуліны і канаўкі для фарміравання металічных злучэнняў.
▪ хіміка-механічная паліроўка:
Хімічная механічная паліроўка металічнай паверхні для выдалення лішкаў металу і выраўноўвання паверхні.
У параўнанні з традыцыйным працэсам вытворчасці металічных злучэнняў, двайны дамаскі працэс мае наступныя перавагі:
▪Спрошчаныя этапы працэсу:за кошт адначасовага фарміравання скразных адтулін і траншэй на адным этапе працэсу скарачаюцца этапы працэсу і час вытворчасці.
▪Палепшаная эфектыўнасць вытворчасці:з-за скарачэння этапаў працэсу працэс падвойнага дамаскіну можа павысіць эфектыўнасць вытворчасці і знізіць вытворчыя выдаткі.
▪Паляпшэнне прадукцыйнасці металічных злучэнняў:двайны працэс дамасцыну можа дасягнуць больш вузкіх металічных злучэнняў, тым самым паляпшаючы інтэграцыю і прадукцыйнасць схем.
▪Зніжэнне паразітарнай ёмістасці і супраціву:выкарыстоўваючы дыэлектрычныя матэрыялы з нізкім утрыманнем k і аптымізуючы структуру металічных злучэнняў, можна паменшыць паразітную ёмістасць і супраціўленне, паляпшаючы хуткасць і энергаспажыванне ланцугоў.
Час публікацыі: 25 лістапада 2024 г