Хімічнае асаджэнне з паравай фазы (ССЗ) адносіцца да працэсу нанясення цвёрдай плёнкі на паверхню крэмніювафельныпраз хімічную рэакцыю газавай сумесі. У залежнасці ад розных умоў рэакцыі (ціск, папярэднік), яго можна падзяліць на розныя мадэлі абсталявання.
Для якіх працэсаў выкарыстоўваюцца гэтыя дзве прылады?
PECVD(Plasma Enhanced) абсталяванне з'яўляецца самым шматлікім і найбольш часта выкарыстоўваным, выкарыстоўваецца ў OX, Nitride, металічных варот, аморфнага вугляроду і г.д.; LPCVD (малая магутнасць) звычайна выкарыстоўваецца ў нітрыдзе, полі, TEOS.
Які прынцып?
PECVD - працэс, які ідэальна спалучае энергію плазмы і CVD. Тэхналогія PECVD выкарыстоўвае нізкатэмпературную плазму для стварэння тлеючага разраду на катодзе тэхналагічнай камеры (г.зн. латка для ўзору) пад нізкім ціскам. Гэты тлеючы разрад або іншая награвальная прылада можа павысіць тэмпературу ўзору да зададзенага ўзроўню, а затым увесці кантраляваную колькасць тэхналагічнага газу. Гэты газ падвяргаецца шэрагу хімічных і плазменных рэакцый і, нарэшце, утварае цвёрдую плёнку на паверхні ўзору.
LPCVD - хімічнае асаджэнне з пара пры нізкім ціску (LPCVD) прызначана для зніжэння працоўнага ціску рэакцыйнага газу ў рэактары прыкладна да 133 Па або менш.
Якія характарыстыкі кожнага з іх?
PECVD - Працэс, які ідэальна спалучае энергію плазмы і CVD: 1) Праца пры нізкіх тэмпературах (пазбяганне пашкоджання абсталявання высокай тэмпературай); 2) Хуткі рост плёнкі; 3) Не патрабавальны да матэрыялаў, OX, нітрыд, металічныя вароты, аморфны вуглярод усё можа расці; 4) Існуе сістэма маніторынгу на месцы, якая можа рэгуляваць рэцэпт з дапамогай параметраў іёнаў, хуткасці патоку газу, тэмпературы і таўшчыні плёнкі.
LPCVD - Тонкія плёнкі, нанесеныя з дапамогай LPCVD, будуць мець лепшае пакрыццё ступені, добры кантроль складу і структуры, высокую хуткасць нанясення і выхад. Акрамя таго, LPCVD не патрабуе газу-носьбіта, таму ён значна памяншае крыніцу забруджвання часціцамі і шырока выкарыстоўваецца ў вытворчасці паўправаднікоў з высокай дабаўленай вартасцю для нанясення тонкіх плёнак.
Запрашаем кліентаў з усяго свету наведаць нас для далейшага абмеркавання!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Час публікацыі: 24 ліпеня 2024 г