Пакрыццё з карбіду крэмнія,шырока вядомае як пакрыццё SiC, адносіцца да працэсу нанясення пласта карбіду крэмнію на паверхні з дапамогай такіх метадаў, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD), фізічнае асаджэнне з паравай фазы (PVD) або тэрмічнае напыленне. Гэта керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнію паляпшае ўласцівасці паверхні розных падкладак, забяспечваючы выключную зносаўстойлівасць, тэрмічную стабільнасць і абарону ад карозіі. SiC вядомы сваімі выдатнымі фізічнымі і хімічнымі ўласцівасцямі, у тым ліку высокай тэмпературай плаўлення (прыкладна 2700 ℃), надзвычайнай цвёрдасцю (па шкале Мооса 9), выдатнай устойлівасцю да карозіі і акіслення і выключнай прадукцыйнасцю абляцыі.
Асноўныя перавагі пакрыцця з карбіду крэмнія ў прамысловасці
Дзякуючы гэтым асаблівасцям пакрыццё з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваецца ў такіх галінах, як аэракасмічная прамысловасць, зброевае абсталяванне і апрацоўка паўправаднікоў. У экстрэмальных умовах, асабліва ў дыяпазоне 1800-2000 ℃, пакрыццё SiC дэманструе выдатную тэрмаўстойлівасць і ўстойлівасць да абляцыі, што робіць яго ідэальным для прымянення пры высокіх тэмпературах. Аднак аднаму карбіду крэмнію не хапае структурнай цэласнасці, неабходнай для многіх прыкладанняў, таму метады пакрыцця выкарыстоўваюцца для выкарыстання яго унікальных уласцівасцей без шкоды для трываласці кампанентаў. У вытворчасці паўправаднікоў элементы з пакрыццём з карбіду крэмнію забяспечваюць надзейную абарону і стабільнасць працы абсталявання, якое выкарыстоўваецца ў працэсах MOCVD.
Агульныя метады падрыхтоўкі пакрыцця з карбіду крэмнію
Ⅰ● Пакрыццё з карбіду крэмнія хімічным паравым нанясеннем (CVD).
У гэтым метадзе пакрыцця SiC фармуюцца шляхам размяшчэння падкладак у рэакцыйнай камеры, дзе метилтрихлорсилан (MTS) выступае ў якасці папярэдніка. У кантраляваных умовах — як правіла, 950-1300°C і адмоўны ціск — MTS падвяргаецца раскладанню, і карбід крэмнію асядае на паверхні. Гэты працэс нанясення CVD SiC пакрыцця забяспечвае шчыльнае аднастайнае пакрыццё з выдатнай адгезіяй, ідэальнае для высокадакладных прымянення ў паўправадніковых і аэракасмічных галінах.
Ⅱ● Метад пераўтварэння прэкурсораў (палімерная насычэнне і піроліз - PIP)
Іншым эфектыўным падыходам да нанясення карбіду крэмнію з распыленнем з'яўляецца метад пераўтварэння папярэдніка, які прадугледжвае апусканне папярэдне апрацаванага ўзору ў раствор папярэдніка керамікі. Пасля вакуумавання рэзервуара для насычэння і павышэння ціску на пакрыццё ўзор награваецца, што прыводзіць да адукацыі карбіду крэмнію пры астуджэнні. Гэты метад пераважны для кампанентаў, якія патрабуюць роўнай таўшчыні пакрыцця і падвышанай зносаўстойлівасці.
Фізічныя ўласцівасці пакрыцця з карбіду крэмнія
Пакрыцці з карбіду крэмнія дэманструюць уласцівасці, якія робяць іх ідэальнымі для патрабавальных прамысловых прымянення. Гэтыя ўласцівасці ўключаюць:
Цеплаправоднасць: 120-270 Вт/м·К
Каэфіцыент цеплавога пашырэння: 4,3 × 10^(-6)/K (пры 20~800 ℃)
Электрычнае супраціўленне: 10^5– 10^6Ω·см
Цвёрдасць: шкала Мооса 9
Прымяненне пакрыцця з карбіду крэмнія
У вытворчасці паўправаднікоў пакрыццё з карбіду крэмнію для MOCVD і іншых высокатэмпературных працэсаў абараняе крытычна важнае абсталяванне, такое як рэактары і токапрымальнікі, забяспечваючы ўстойлівасць да высокіх тэмператур і стабільнасць. У аэракасмічнай і абароннай сферах керамічныя пакрыцця з карбіду крэмнію наносяцца на кампаненты, якія павінны вытрымліваць удары на высокай хуткасці і агрэсіўныя асяроддзя. Акрамя таго, фарбу або пакрыццё з карбіду крэмнію таксама можна выкарыстоўваць на медыцынскіх прыладах, якія патрабуюць трываласці пры працэдурах стэрылізацыі.
Чаму варта выбраць пакрыццё з карбіду крэмнія?
Маючы даказаны рэкорд у падаўжэнні тэрміну службы кампанентаў, пакрыцця з карбіду крэмнію забяспечваюць неперасягненую даўгавечнасць і тэмпературную стабільнасць, што робіць іх эканамічна эфектыўнымі для доўгатэрміновага выкарыстання. Выбіраючы паверхню з пакрыццём з карбіду крэмнія, прамысловасць атрымлівае выгаду ад зніжэння выдаткаў на тэхнічнае абслугоўванне, павышэння надзейнасці абсталявання і павышэння эфектыўнасці працы.
Чаму выбіраюць VET ENERGY?
VET ENERGY з'яўляецца прафесійным вытворцам і фабрыкай пакрыццяў з карбіду крэмнію ў Кітаі. Асноўныя прадукты пакрыцця SiC ўключаюць у сябе награвальнік карбіду крэмнію керамічнага пакрыцця,CVD пакрыццё з карбіду крэмнія MOCVD Susceptor, MOCVD Графітавы носьбіт з CVD SiC пакрыццём, Графітавыя носьбіты з пакрыццём SiC, Графітавая падкладка з карбідам крэмнію для паўправаднікоў,Пакрыццё SiC/Графітавая падкладка з пакрыццём/паддон для паўправаднікоў, CVD SiC з вугляродна-вугляродным кампазітным CFC-формай для лодак. VET ENERGY імкнецца прадастаўляць перадавыя тэхналогіі і прадуктовыя рашэнні для паўправадніковай прамысловасці. Мы шчыра спадзяемся стаць вашым доўгатэрміновым партнёрам у Кітаі.
Час публікацыі: 2 верасня 2023 г