CVD (хімічнае асаджэнне з паравай фазы) - гэта шырока выкарыстоўваны метад падрыхтоўкі пакрыццяў з карбіду крэмнію.CVD пакрыцця з карбіду крэмніюмаюць мноства унікальных эксплуатацыйных характарыстык. Гэты артыкул пазнаёміць з метадам падрыхтоўкі пакрыцця з карбіду крэмнія CVD і яго характарыстыкамі.
1. Спосаб падрыхтоўкіCVD пакрыццё з карбіду крэмнія
Метад CVD ператварае газападобныя папярэднікі ў цвёрдыя пакрыцця з карбіду крэмнію ва ўмовах высокай тэмпературы. У залежнасці ад розных газападобных папярэднікаў, яго можна падзяліць на газафазны CVD і вадкасную фазу CVD.
1. Парафазны CVD
Парафазны CVD выкарыстоўвае газападобныя папярэднікі, звычайна крэмнійарганічныя злучэнні, для дасягнення росту плёнак з карбіду крэмнію. Звычайна выкарыстоўваюцца крэмнійарганічныя злучэнні: метилсилан, диметилсилан, моносилан і г.д., якія ўтвараюць плёнкі карбіду крэмнію на металічных падкладках шляхам транспарціроўкі газападобных папярэднікаў у высокатэмпературныя рэакцыйныя камеры. Вобласці высокай тэмпературы ў рэакцыйнай камеры звычайна ствараюцца індукцыйным або рэзістыўным нагрэвам.
2. Вадкафазная CVD
У вадкаснай фазе CVD выкарыстоўваецца вадкі папярэднік, звычайна арганічны растваральнік, які змяшчае крэмній і сіланольнае злучэнне, які награваецца і выпараецца ў рэакцыйнай камеры, а затым у выніку хімічнай рэакцыі на падкладцы ўтвараецца плёнка карбіду крэмнію.
2. Тактыка-тэхнічныя характарыстыкіCVD пакрыццё з карбіду крэмнія
1.Выдатная высокая тэмпература
CVD пакрыцця з карбіду крэмніюзабяспечваюць выдатную стабільнасць пры высокіх тэмпературах і ўстойлівасць да акіслення. Ён здольны працаваць у асяроддзі з высокай тэмпературай і можа вытрымліваць экстрэмальныя ўмовы пры высокіх тэмпературах.
2.Добрыя механічныя ўласцівасці
CVD пакрыццё з карбіду крэмніявалодае высокай цвёрдасцю і добрай зносаўстойлівасцю. Ён абараняе металічныя падкладкі ад зносу і карозіі, падаўжаючы тэрмін службы матэрыялу.
3. Выдатная хімічная стабільнасць
CVD пакрыцця з карбіду крэмніювельмі ўстойлівыя да звычайных хімічных рэчываў, такіх як кіслоты, шчолачы і солі. Ён супрацьстаіць хімічным уздзеянням і карозіі падкладкі.
4. Нізкі каэфіцыент трэння
CVD пакрыццё з карбіду крэмніямае нізкі каэфіцыент трэння і добрыя самазмазвальныя ўласцівасці. Гэта памяншае трэнне і знос і павышае эфектыўнасць выкарыстання матэрыялу.
5.Добрая цеплаправоднасць
CVD-пакрыццё з карбіду крэмнію валодае добрымі ўласцівасцямі цеплаправоднасці. Ён можа хутка праводзіць цяпло і паляпшаць эфектыўнасць рассейвання цяпла металічнай асновы.
6.Excellent электраізаляцыйныя ўласцівасці
CVD-пакрыццё з карбіду крэмнію валодае добрымі электраізаляцыйнымі ўласцівасцямі і можа прадухіліць уцечку току. Ён шырока выкарыстоўваецца для абароны ізаляцыі электронных прылад.
7. Рэгуляваная таўшчыня і склад
Кантралюючы ўмовы падчас працэсу CVD і канцэнтрацыю папярэдніка, можна рэгуляваць таўшчыню і склад плёнкі карбіду крэмнію. Гэта дае мноства варыянтаў і гнуткасці для розных прыкладанняў.
Карацей кажучы, CVD-пакрыццё з карбіду крэмнію мае выдатныя характарыстыкі пры высокіх тэмпературах, выдатныя механічныя ўласцівасці, добрую хімічную стабільнасць, нізкі каэфіцыент трэння, добрую цеплаправоднасць і электраізаляцыйныя ўласцівасці. Гэтыя ўласцівасці дазваляюць CVD пакрыццям з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўвацца ў многіх галінах, у тым ліку ў электроніцы, оптыцы, аэракасмічнай, хімічнай прамысловасці і г.д.
Час публікацыі: 20 сакавіка 2024 г