Утварэнне дыяксіду крэмнію на паверхні крэмнію называецца акісленнем, і стварэнне стабільнага і трывалага дыяксіду крэмнія прывяло да нараджэння плоскай тэхналогіі крэмніевых інтэгральных схем. Хаця існуе шмат спосабаў вырошчвання дыяксіду крэмнію непасрэдна на паверхні крэмнію, звычайна гэта робіцца метадам тэрмічнага акіслення, якое заключаецца ў ўздзеянні на крэмній высокай тэмпературы акісляльнага асяроддзя (кісларод, вада). Метады тэрмічнага акіслення могуць кантраляваць таўшчыню плёнкі і характарыстыкі падзелу крэмній/дыяксід крэмнія падчас падрыхтоўкі плёнак дыяксіду крэмнія. Іншыя метады вырошчвання дыяксіду крэмнія - гэта плазменнае анадаванне і вільготнае анадаванне, але ні адзін з гэтых метадаў не атрымаў шырокага прымянення ў працэсах СБІС.
Крэмній мае тэндэнцыю ўтвараць стабільны дыяксід крэмнія. Калі толькі што расшчаплены крэмній падвяргаецца ўздзеянню акісляльнага асяроддзя (напрыклад, кіслароду, вады), ён утворыць вельмі тонкі пласт аксіду (<20Å) нават пры пакаёвай тэмпературы. Калі крэмній падвяргаецца ўздзеянню акісляльнай асяроддзя пры высокай тэмпературы, больш тоўсты пласт аксіду будзе стварацца з большай хуткасцю. Асноўны механізм адукацыі дыяксіду крэмнія з крэмнію добра вывучаны. Дыл і Гроув распрацавалі матэматычную мадэль, якая дакладна апісвае дынаміку росту аксідных плёнак таўшчынёй больш за 300Å. Яны выказалі здагадку, што акісленне ажыццяўляецца наступным чынам, гэта значыць акісляльнік (малекулы вады і малекулы кіслароду) дыфузіюе праз існуючы аксідны пласт да мяжы Si/SiO2, дзе акісляльнік рэагуе з крэмніем з адукацыяй дыяксіду крэмнія. Асноўная рэакцыя з адукацыяй дыяксіду крэмнія апісваецца наступным чынам:
Рэакцыя акіслення адбываецца на мяжы падзелу Si/SiO2, таму, калі аксідны пласт расце, крэмній бесперапынна спажываецца, і падзел паступова ўрываецца ў крэмній. Згодна з адпаведнай шчыльнасцю і малекулярнай масай крэмнію і дыяксіду крэмнія, можна выявіць, што крэмній, які спажываецца для таўшчыні канчатковага аксіднага пласта, складае 44%. Такім чынам, калі аксідны пласт вырасце на 10 000 Å, будзе выдаткавана 4400 Å крэмнію. Гэта суадносіны важна для разліку вышыні прыступак, якія ўтвараюцца на сткрамянёвая пласціна. Гэтыя этапы з'яўляюцца вынікам розных хуткасцей акіслення ў розных месцах на паверхні крамянёвай пласціны.
Мы таксама пастаўляем прадукты з графіту і карбіду крэмнію высокай чысціні, якія шырока выкарыстоўваюцца ў апрацоўцы пласцін, такіх як акісленне, дыфузія і адпал.
Запрашаем кліентаў з усяго свету наведаць нас для далейшага абмеркавання!
https://www.vet-china.com/
Час публікацыі: 13 лістапада 2024 г