ЯК ЗРАБІЦЬ КРЭМНЕВЫЯ ПЛАСТЫНЫ
A вафельныгэта лустачка крэмнія таўшчынёй каля 1 міліметра, якая мае надзвычай плоскую паверхню дзякуючы тэхнічна вельмі складаным працэдурам. Наступнае выкарыстанне вызначае, якую працэдуру вырошчвання крышталяў трэба выкарыстоўваць. У працэсе Чохральского, напрыклад, полікрышталічны крэмній плавіцца і тонкі як аловак затравкавы крышталь апускаецца ў расплаўлены крэмній. Затравочны крышталь затым паварочваецца і павольна цягнецца ўверх. Атрымліваецца вельмі цяжкі калос, монакрышталь. Выбраць электрычныя характарыстыкі монакрышталя можна шляхам дадання невялікіх частак легіровак высокай чысціні. Крышталі легіруюць у адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка, а затым паліруюць і наразаюць на лустачкі. Пасля розных дадатковых этапаў вытворчасці кліент атрымлівае ўказаныя вафлі ў спецыяльнай упакоўцы, што дазваляе кліенту адразу выкарыстоўваць вафлі ў сваёй вытворчай лініі.
ПРАЦЭС ЧАХРАЛЬСКАГА
Сёння вялікая частка монакрышталяў крэмнію вырошчваецца ў адпаведнасці з працэсам Чахральскага, які ўключае плаўленне полікрышталічнага крэмнія высокай чысціні ў звышчыстым кварцавым тыглі і дабаўленне дабаўкі (звычайна B, P, As, Sb). Тонкі монакрышталічны затравочны крышталь апускаюць у расплаўлены крэмній. Затым з гэтага тонкага крышталя развіваецца вялікі крышталь CZ. Дакладнае рэгуляванне тэмпературы і патоку расплаўленага крэмнію, кручэння крышталя і тыгля, а таксама хуткасці выцягвання крышталя дазваляе атрымаць злітак монакрышталічнага крэмнію надзвычай высокай якасці.
МЕТАД ФЛАТ-ЗОНЫ
Манакрышталі, вырабленыя ў адпаведнасці з метадам плаваючай зоны, ідэальна падыходзяць для выкарыстання ў сілавых паўправадніковых кампанентах, такіх як IGBT. Цыліндрычны злітак полікрышталічнага крэмнію ўсталяваны над індукцыйнай шпулькай. Радыёчастотнае электрамагнітнае поле дапамагае расплавіць крэмній з ніжняй часткі стрыжня. Электрамагнітнае поле рэгулюе паток крэмнію праз невялікае адтуліну ў індукцыйнай шпульцы і на монакрышталь, які ляжыць унізе (метад плаваючай зоны). Легіраванне, звычайна B або P, дасягаецца даданнем газападобных рэчываў.
Час публікацыі: 07 чэрвеня 2021 г