У працэсе эпітаксіі з паравой фазы (VPE) роля пастамента заключаецца ў падтрымцы падкладкі і забеспячэнні раўнамернага нагрэву ў працэсе росту. Для розных умоў росту і матэрыяльных сістэм падыходзяць розныя віды пастаментаў. Ніжэй прыведзены некаторыя тыпы пастаментаў, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў паравой фазеэпітаксія:
Бочкавы пастамент
Пастаменты ствалоў звычайна выкарыстоўваюцца ў гарызантальных або нахіленых сістэмах парафазнай эпітаксіі. Яны могуць утрымліваць падкладку і дазваляць газу цячы па падкладцы, што дапамагае дасягнуць раўнамернага эпітаксіяльнага росту.
Пастамент у форме дыска (вертыкальны пастамент)
П'едэсталы ў форме дыска падыходзяць для вертыкальных сістэм парафазнай эпітаксіі, у якіх падкладка размяшчаецца вертыкальна. Такая канструкцыя дапамагае паменшыць плошчу кантакту паміж падкладкай і прымачам, тым самым памяншаючы страты цяпла і патэнцыйнае забруджванне.
Гарызантальны сцептор
Гарызантальныя прымальнікі радзей сустракаюцца ў эпітаксіі з паравой фазы, але могуць выкарыстоўвацца ў некаторых спецыфічных сістэмах росту, каб забяспечыць эпітаксіяльны рост у гарызантальным кірунку.
Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны суцэптар
Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны прыймальнік прызначаны для адной падкладкі, якая можа забяспечыць больш дакладны кантроль тэмпературы і лепшую цеплавую ізаляцыю, прыдатныя для росту высакаякасных эпітаксіяльных слаёў.
Сардэчна запрашаем на наш вэб-сайт для атрымання інфармацыі аб прадуктах і кансультацый.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Час публікацыі: 30 ліпеня 2024 г