Звычайна выкарыстоўваюцца пастаменты для парафазнай эпітаксіі

У працэсе эпітаксіі з паравой фазы (VPE) роля пастамента заключаецца ў падтрымцы падкладкі і забеспячэнні раўнамернага нагрэву ў працэсе росту. Для розных умоў росту і матэрыяльных сістэм падыходзяць розныя віды пастаментаў. Ніжэй прыведзены некаторыя тыпы пастаментаў, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў паравой фазеэпітаксія:

1
Бочачны пастамент

Пастаменты ствалоў звычайна выкарыстоўваюцца ў гарызантальных або нахіленых сістэмах парафазнай эпітаксіі. Яны могуць утрымліваць падкладку і дазваляць газу цячы па падкладцы, што дапамагае дасягнуць раўнамернага эпітаксійнага росту.

4

Пастамент у форме дыска (вертыкальны пастамент)

Дыскападобныя пастаменты падыходзяць для вертыкальных сістэм парафазнай эпітаксіі, у якіх падкладка размяшчаецца вертыкальна. Такая канструкцыя дапамагае паменшыць плошчу кантакту паміж падкладкай і прымачам, тым самым памяншаючы страты цяпла і патэнцыйнае забруджванне.

3

Гарызантальны сцептор

Гарызантальныя прымальнікі радзей сустракаюцца ў эпітаксіі з паравой фазы, але могуць выкарыстоўвацца ў некаторых спецыфічных сістэмах росту, каб забяспечыць эпітаксіяльны рост у гарызантальным кірунку.

2

Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны суцэптар

Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны прыймальнік прызначаны для адной падкладкі, якая можа забяспечыць больш дакладны кантроль тэмпературы і лепшую цеплавую ізаляцыю, прыдатныя для росту высакаякасных эпітаксіяльных слаёў.

Сардэчна запрашаем на наш вэб-сайт для атрымання інфармацыі аб прадуктах і кансультацый.

Наш сайт: https://www.vet-china.com/


Час публікацыі: 30 ліпеня 2024 г
Інтэрнэт-чат WhatsApp!