Распыляльныя мішэніу асноўным выкарыстоўваюцца ў электроннай і інфармацыйнай прамысловасці, напрыклад, у інтэгральных схемах, сховішчах інфармацыі, вадкакрысталічных дысплеях, лазернай памяці, электронных прыладах кіравання і г.д. матэрыялы, стойкасць да карозіі пры высокіх тэмпературах, дэкаратыўныя вырабы высокага класа і іншыя галіны прамысловасці.
Распыленне з'яўляецца адным з асноўных метадаў падрыхтоўкі тонкаплёнкавых матэрыялаў.Ён выкарыстоўвае іёны, якія ўтвараюцца крыніцамі іёнаў, для паскарэння і агрэгацыі ў вакууме для фарміравання высакахуткасных энергетычных іённых пучкоў, бамбардзіроўкі цвёрдай паверхні і абмену кінетычнай энергіяй паміж іёнамі і атамамі цвёрдай паверхні. Атамы на паверхні цвёрдага цела пакідаюць цвёрдае цела і асядаюць на паверхні падкладкі. Бамбардзіраванае цвёрдае рэчыва з'яўляецца сыравінай для нанясення тонкіх плёнак шляхам распылення, якое называецца мішэнню для распылення. Розныя тыпы тонкаплёнкавых матэрыялаў з напыленнем шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых інтэгральных схемах, носьбітах запісу, плоскіх дысплеях і пакрыццях паверхні нарыхтовак.
Сярод усіх галін прымянення паўправадніковая прамысловасць прад'яўляе самыя строгія патрабаванні да якасці плёнак для напылення мішэняў. Мішэні для напылення металаў высокай чысціні ў асноўным выкарыстоўваюцца ў вытворчасці пласцін і перадавых працэсах упакоўкі. Прымаючы ў якасці прыкладу вытворчасць чыпаў, мы бачым, што ад крамянёвай пласціны да чыпа неабходна прайсці праз 7 асноўных вытворчых працэсаў, а менавіта: дыфузію (тэрмічны працэс), фоталітаграфію (фоталітаграфія), тручэнне (тручэнне), Іённая імплантацыя (IonImplant), рост тонкай плёнкі (дыэлектрычнае нанясенне), хімічная механічная паліроўка (CMP), металізацыя (Металізацыя) Працэсы адпавядаюць адзін за адным. Мішэнь для напылення выкарыстоўваецца ў працэсе «металізацыі». Абсталяванне для нанясення тонкіх плёнак абсыпае мішэнь часціцамі высокай энергіі, пасля чаго на крамянёвай пласціне фарміруецца металічны пласт са спецыфічнымі функцыямі, напрыклад, які праводзіць пласт, бар'ерны пласт. Пачакайце. Паколькі працэсы ва ўсіх паўправадніках вар'іруюцца, для праверкі правільнасці існавання сістэмы неабходныя некаторыя выпадковыя сітуацыі, таму мы патрабуем некаторых відаў фіктыўных матэрыялаў на пэўных этапах вытворчасці, каб пацвердзіць эфект.
Час публікацыі: 17 студзеня 2022 г