Патрабаванні да графітавых матэрыялаў паўправадніковай прамысловасці асабліва высокія, дробны памер часціц графіту мае высокую дакладнасць, высокую тэрмаўстойлівасць, высокую трываласць, невялікія страты і іншыя перавагі, такія як: спеченный графіт вырабы формы.Паколькі графітнае абсталяванне, якое выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці (уключаючы награвальныя прыборы і іх спеченные штампы), павінна вытрымліваць шматразовыя працэсы нагрэву і астуджэння, для падаўжэння тэрміну службы графітавага абсталявання звычайна патрабуецца, каб выкарыстоўваныя графітавыя матэрыялы мелі стабільныя характарыстыкі і тэрмаўстойлівая функцыя ўдару.
01 Графітавыя аксэсуары для росту крышталяў паўправаднікоў
Усе працэсы, якія выкарыстоўваюцца для вырошчвання крышталяў паўправаднікоў, працуюць пры высокай тэмпературы і агрэсіўным асяроддзі. Гарачая зона печы для вырошчвання крышталяў звычайна абсталявана тэрмаўстойлівымі і ўстойлівымі да карозіі графітавымі кампанентамі высокай чысціні, такімі як награвальнік, тыгель, ізаляцыйны цыліндр, накіроўвалы цыліндр, электрод, трымальнік тыгля, гайка электрода і г.д.
Мы можам вырабіць усе графітавыя дэталі прылад для вытворчасці крышталя, якія могуць пастаўляцца паасобку або ў камплекце, або індывідуальныя графітавыя дэталі розных памераў у адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка. Памер вырабаў можна вымераць на месцы, а зольнасць гатовай прадукцыі можа быць меншайчым 5 праміле.
02 Графітавыя аксэсуары для эпітаксіі паўправаднікоў
Эпітаксійны працэс адносіцца да росту пласта монакрысталічнага матэрыялу з такім жа размяшчэннем рашоткі, што і падкладка, на монакрышталічнай падкладцы. У працэсе эпітаксіі пласціна загружаецца на графітавы дыск. Прадукцыйнасць і якасць графітавага дыска гуляюць важную ролю ў якасці эпітаксіяльнага пласта пласціны. У галіне эпітаксійнай вытворчасці патрабуецца шмат графіту звышвысокай чысціні і графітавай асновы высокай чысціні з пакрыццём SIC.
Графітавая аснова нашай кампаніі для эпітаксіі паўправаднікоў мае шырокі спектр прымянення, можа адпавядаць большасці звычайна выкарыстоўванага ў прамысловасці абсталявання і мае высокую чысціню, аднастайнае пакрыццё, выдатны тэрмін службы і высокую хімічную ўстойлівасць і тэрмаўстойлівасць.
03 Графітавыя аксэсуары для іённай імплантацыі
Іонная імплантацыя адносіцца да працэсу паскарэння плазменнага пучка бору, фосфару і мыш'яку да пэўнай энергіі, а затым увядзення яго ў павярхоўны пласт матэрыялу пласціны для змены ўласцівасцей матэрыялу павярхоўнага пласта. Кампаненты прылады іоннай імплантацыі павінны быць выраблены з матэрыялаў высокай чысціні з выдатнай тэрмаўстойлівасцю, цеплаправоднасцю, меншай карозіяй, выкліканай іённым пучком, і нізкім утрыманнем прымешак. Графіт высокай чысціні адпавядае патрабаванням прымянення і можа выкарыстоўвацца для лётнай трубы, розных шчылін, электродаў, вечкаў электродаў, трубаправодаў, канчаткоў пучка і г.д. абсталявання для іоннай імплантацыі.
Мы можам не толькі забяспечыць графітавыя экрануючыя вечка для розных машын для іённай імплантацыі, але і забяспечыць графітавыя электроды высокай чысціні і крыніцы іёнаў з высокай каразійнай устойлівасцю розных характарыстык. Дастасавальныя мадэлі: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM і іншае абсталяванне. Акрамя таго, мы можам забяспечыць адпаведныя вырабы з керамікі, вальфраму, малібдэна, алюмінія і дэталі з пакрыццём.
04 Графітавыя ізаляцыйныя матэрыялы і інш
Цеплаізаляцыйныя матэрыялы, якія выкарыстоўваюцца ў абсталяванні для вытворчасці паўправаднікоў, уключаюць графітавы цвёрды лямец, мяккі лямец, графітную фальгу, графітную паперу і графітавыя вяроўкі.
Уся наша сыравіна - гэта імпартны графіт, які можа быць разрэзаны ў адпаведнасці з канкрэтным памерам патрабаванняў заказчыка або прададзены ў цэлым.
Вугляродна-вугляродны латок выкарыстоўваецца ў якасці носьбіта для плёнкавага пакрыцця ў працэсе вытворчасці сонечных монакрышталічнага крэмнія і полікрышталічнага крэмнія. Прынцып працы: устаўце крэмніевы чып у латок з CFC і адпраўце яго ў трубу печы для апрацоўкі плёнкавага пакрыцця.
