Удасканаленая кансольная лапатка SiC для апрацоўкі пласцін

Кароткае апісанне:

Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing, запушчаны vet-china, выкарыстоўвае высокатэхналагічныя матэрыялы SiC для павышэння эфектыўнасці і дакладнасці апрацоўкі пласцін. Кансольнае вясло Vet-china адрозніваецца выдатнай тэрмаўстойлівасцю і ўстойлівасцю да карозіі, забяспечваючы стабільную працу з пласцінамі ў жорсткіх вытворчых умовах, што робіць яго ідэальным выбарам для павышэння прадукцыйнасці вытворчасці.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

ПашыраныКансольнае вясло SiCfor Wafer Processing, створаная vet-china, забяспечвае выдатнае рашэнне для вытворчасці паўправаднікоў. Гэта кансольнае вясло зроблена з матэрыялу SiC (карбід крэмнію), а яго высокая цвёрдасць і тэрмаўстойлівасць дазваляюць падтрымліваць выдатную працу ў высокіх тэмпературах і агрэсіўных асяроддзях. Канструкцыя Cantilever Paddle дазваляе надзейна падтрымліваць пласціну падчас апрацоўкі, зніжаючы рызыку фрагментацыі і пашкоджання.

Кансольнае вясло SiCгэта спецыялізаваны кампанент, які выкарыстоўваецца ў абсталяванні для вытворчасці паўправаднікоў, такім як акісляльная печ, дыфузійная печ і печ для адпалу, у асноўным выкарыстоўваецца для загрузкі і выгрузкі пласцін, падтрымкі і транспарціроўкі пласцін падчас высокатэмпературных працэсаў.

Агульныя структурызSiCcсупрацьрычажныpдабаўляць: кансольная канструкцыя, замацаваная на адным канцы і свабодная на іншым, звычайна мае плоскую канструкцыю, падобную на вясло.

VET Energy выкарыстоўвае рэкрышталізаваны карбід крэмнію высокай чысціні, каб гарантаваць якасць.

Фізічныя ўласцівасці рэкрышталізаванага карбіду крэмнію
Уласнасць	Тыповае значэнне
Працоўная тэмпература (°C)	1600°C (з кіслародам), 1700°C (аднаўленчае асяроддзе)
Змест SiC	> 99,96%
Бясплатны кантэнт Si	<0,1%
Насыпная шчыльнасць	2,60-2,70 г/см³
Ўяўная сітаватасць	< 16%
Трываласць на сціск	> 600МПа
Трываласць на халодны выгіб	80-90 Мпа (20°C)
Гарачая трываласць на выгіб	90-100 Мпа (1400°C)
Тэрмічнае пашырэнне @1500°C	4,70 10^-6/°C
Цеплаправоднасць @1200°C	23Вт/м•К
Модуль пругкасці	240 ГПа
Ўстойлівасць да тэрмічнага ўдару	Надзвычай добра